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一般来说通过离子注入方式实现参杂,工艺最后都有一个退火过程,一是为了重新完整由于高能离子注入导致的晶格损伤,其次是激活注入的离子。更详细的关于杂志激活的原理推荐看 Slilicon VLSI Technology, Fundamentals,Practice and Modeling,作者Jmaes D. Plummer等,中文译本也有的了,这本书可谓是IC工艺理论中的经典之作~半导体的应用改变了我们的生活方式,用途广泛,以半导体企业MACOM为例来说下半导体对我们的影响吧,MACOM通过为光学、无线和卫星网络提供半导体技术,来满足社会对信息的需求,从而实现连通且安全的世界。通过推动各种基础设施的建设,使数百万人在生活中每时每刻沟通、旅行、获取信息和参与娱乐活动。相应的半导体技术提高了移动互联网的速度和覆盖率,让光纤网络得以向企业、家庭和数据中心传输通信。半导体技术支持的下一代雷达,可用于空中交通管制和天气预报,从而保卫所有人的安全。除了通信之外,半导体还在模拟射频、微波、毫米波和光子等方面有相关应用,可帮助我们解决网络容量、信号覆盖、能源效率和现场可靠性等问题。从中可以看出半导体对我们今天的生活影响深远。中兴机考吧? 我刚考完 也遇到这题。。。 反正我是一本正经的胡说八道的····· 我是这么写的:半导体器件由于各种效应会是性能退化甚至失效,这种电学失效可以恢复,恢复所需要的能量就是失效激活能··········
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