硅材料到硅片需要什么步骤啊

硅材料到硅片需要什么步骤啊,第1张

备料(给区熔、直拉炉台上准备拉制单晶的原料,用酸腐蚀)—拉制单晶—切断—线切—清洗—退火—倒角—磨片—清洗—成品(抛光片的话另加步骤)

倒角、退火可换位置,退火主要指直拉硅片退火


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