半导体物理

半导体物理,第1张

从能量的角度:费米能级是化学势,定义为系统增加一个电子引起自由能的变化。热平衡时由于吉布斯函数取极值,那多元系的化学势必须相同,也就是说费米能级相同。

从电子填充的角度:由于电子能级填充满足费米狄拉克分布,那么大于0K情况下填充概率为0.5时的能量就是费米能级。这是半导体中常用考虑的角度。

接触时由于电子能量的差异,电子会从费米能级高的地方流向费米能级低的地方。那么,费米能级低的地方由于负电势-V的存在,整体能量上升U=(-e)(-V)=eV,直到费米能级平齐,此时接触电势差V等于功函数之差。

当接触时费米能级对齐,半导体的结区能带弯曲。能带弯曲同样可以有两种理解方式:

从能量的角度:

从电子填充的角度:假设电子从半导体跑向金属表面,半导体表面电荷减少导致费米能级会更接近于价带。也就是说导带和价带会往上弯曲。

从能量的角度:正电荷分布于半导体表面,建立一个从半导体体内到界面的电场,因此表面电势相对于体内更低,能带向上弯曲。

无论是半导体物理考研专业课,还是本科课程学习,搭建框架都挺重要的。不知道哪里是重点?这篇文章介绍《半导体物理学》的框架,有助于初学者了解这个科目的整体结构。

面对比较复杂的科目,初学者可能会遇到这种情况——学了好几章,仍然云里雾里,不知自己在学什么,接下来又要学什么。等到学完,只记得一些零零散散的知识点,无法形成完整体系。这可能是因为忽略了一些内容,那就是这个科目的框架。

接下来以刘恩科《半导体物理学(第七版)》为参考书,讲讲半导体物理学的框架。当然,同样的知识可以有很多种分类方式,我非常鼓励大家按自己的理解去划分,以下内容可供参考借鉴。

这本《半导体物理学》共13章,但大部分本科课程及考研大纲,重点在1~8章(半导体的电效应),剩余章节仅对少量内容作要求。

按大的来分,就是两个部分:1~9章是半导体的电效应(核心)、10~13章是其他效应和拓展。再分细一点,我们可以把整本书分为四个部分:

第一部分:固体物理基础(1,2章)

第二部分:载流子的性质(3,4,5章)

第三部分:器件结构(6,7,8,9章)

第四部分:其他效应及拓展(10,11,12,13章)

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第1章 半导体中的电子状态 

第2章 半导体中的杂质和缺陷能级

第一部分,主要解决【半导体是什么】、【半导体中有什么】这两个问题。

首先介绍半导体作为晶体的性质:晶格结构,以及晶体的能带。

然后介绍半导体中有什么:载流子(电子和空穴),以及杂质等缺陷。

电子和空穴这两种载流子,决定了半导体的电、光、热、磁等基本性质。而杂质,则是调控半导体这些性质最重要的手段。

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第3章 半导体中载流子的统计分布 

第4章 半导体的导电性 

第5章 非平衡载流子

第二部分中,主要解决【如何调控载流子浓度】、【如何调控半导体电学性质】这两个问题。

第3章介绍“温度、杂质浓度和载流子浓度的关系”。温度和杂质浓度对载流子浓度有决定性的影响,控制这两个量,就能控制载流子浓度,调控半导体的各种性质。

第4章介绍“温度、杂质浓度和导电性的关系”。从σ=nqμ知道,半导体导电性主要受载流子浓度、迁移率的影响,其中迁移率主要受散射影响。无论是载流子浓度还是散射,都由温度和杂质浓度控制。因此,确定了温度和杂质浓度,就能调控半导体的导电性。

第5章介绍“载流子的动态变化”。载流子不是静态的,它有产生、复合、扩散、漂移等活动,载流子浓度会因此发生动态变化。我们据此采取措施,可以进一步调控载流子浓度。

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第6章 pn结

第7章 金属和半导体的接触

第8章 半导体表面与MIS结构

第9章 半导体异质结构

第三部分主要解决【半导体有什么用】这个问题。

半导体最重要的性质就是电效应,1~9章都在讲电效应,后面的10~13章,研究方法与电效应是相通的。

半导体电效应的应用,最重要的就是6~9章对应的四种结构——pn结、肖特基结、MIS结构、异质结。重中之重是pn结和MIS结构,它们是信息时代的基石。

基于pn结的双极晶体管,是集成电路的滥觞,它的问世掀起了一场技术革命,让人类社会从工业时代进入了信息时代。

基于MIS结构的场效应晶体管,占今天所用晶体管的绝大部分(具体比例没查到,可能要高于99%)。你现在拿着的手机里,就有几十亿、上百亿个基于MIS结构的场效应晶体管。[1]

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第10章 半导体的光学性质和光电与发光现象 

第11章 半导体的热电性质 

第12章 半导体磁和压阻效应

第13章 非晶态半导体

第四部分,解决的是【半导体还有什么用】、【介绍特殊的半导体】这两个问题。

光、热、磁效应的研究方法,与电效应是相通的,也是从载流子、能带、温度、杂质这几个方面去研究。看看采取什么措施能调控这些性质,能做出什么有用的器件。

1~12章的内容都是基于半导体晶体,因为我们日常所用的绝大部分半导体,都是晶态半导体。但除此之外,还有一种特殊的半导体——非晶态半导体。

如果要对非晶态半导体进行研究,方法和1~12章是一样的,我们同样按以下顺序,解决非晶态半导体的问题即可:

【半导体是什么】

【半导体中有什么】

【如何调控载流子浓度】   

【如何调控半导体电学性质】

【半导体有什么用(电效应)】

【半导体还有什么用(光热磁)】

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怎么样,现在对半导体物理学的框架有概念了吧?在接下来的学习过程中,一步步解决问题,就能学懂半导体物理了。加油!

怎样学好半导体物理?

武忠祥这个是在营销吗?

PS. 写干货好累啊,一不小心就到一两点了。真吃不消。少熬夜。休息一段时间。

参考文献:[1] 麒麟9000集成153亿晶体管

半导体的输运现象包括在电场、磁场、温度差等作用下十分广泛的载流子输运过程。和金属导体相比,半导体的载流子不仅浓度低很多,而且数量以及运动速度都可以在很广的范围内变化。因此半导体的各种输运现象具有和金属十分不同的特征。 在常见的半导体中,载流子主要是掺在半导体中的浅能级杂质提供的。主要由浅施主提供的电子导电的半导体称为N型半导体;主要由浅受主提供空穴导电的半导体称为P型半导体。由于在任何有限温度下,总有或多或少的电子从价带被热激发到导带(本征激发),所以无论N型或P型半导体中都存在一定数量的反型号的载流子,称为少数载流子,主导的载流子则称为多数载流子。温度足够高时,由价带热激发到导带的电子可以远超过杂质提供的载流子,这时参与导电的电子和空穴的数目基本相同,称为本征导电。

半导体导电一般服从欧姆定律。但是,和金属中高度简并的电子相比,半导体中载流子的无规热运动速度低很多,同时由于载流子浓度低,对相同的电流密度,漂移速度则高很多。因此,在较高的电流密度下,半导体中载流子的漂移速度可以达到与热运动速度相比,经过散射可以转化为无规热运动,使载流子的温度显著提高。这时半导体的导电偏离欧姆定律。热载流子还可以导致一些特殊效应。例如,某些半导体(如砷化镓、磷化铟)在导带底之上,还存在着能量略高而态密度很大的其他导带极小值。在足够强的电场下,热载流子会逐渐转移到这些所谓次极值的区域(指k空间),导致电场增大而漂移速度反而下降的负微分迁移率现象(见转移电子器件)。 通有电流的导体,在垂直磁场作用下,由于磁场对漂移载流子的偏转力而产生的侧向的电压,称为霍耳效应。由于在相同的电流密度下载流子的漂移速度和载流子的浓度成反比,所以,和金属相比半导体的霍耳效应十分显著,而且可以方便地用于测定载流子的浓度。霍耳效应的符号直接反映载流子电荷的符号,所以霍耳效应的测量还可以区别N型和P型导电性。

与金属中高度简并的电子不同,一般半导体中载流子的热运动显著依赖于温度,因此,半导体还表现出远强于金属导体的温差电效应(见温差发电和致冷)。

光照射在半导体内产生的电子和空穴构成多余的载流子,称为非平衡载流子。用电学方法(如通过金属-半导体接触或PN结,见下文)也可以在半导体中引入非平衡载流子。在电场作用下,非平衡载流子同时参与导电,构成附加的导电性。光照射产生的附加电导称为光电导。作为非平衡载流子的电子和空穴可以直接复合(即电子直接跃迁到价带中代表空穴的空能级),也可以通过复合中心复合,称为间接复合。非平衡载流子在复合之前平均存在的时间称为寿命,在这个时间中通过布朗运动平均移动的距离,称为扩散长度。 半导体表面的空间电荷可以看做是由于屏蔽垂直表面的电场而造成的,表面电场一般是由于各种表面的具体情况而引起的。如果电场的方向是驱赶载流子向体内,空间电荷区格外显著。这种情况下的空间电荷区是由载流子被排走所余下的电离杂质的电荷构成的,称为耗尽层。由于电离杂质电荷的浓度是固定的,随着表面电场增强,屏蔽它所需的电荷必须成正比地增大,这就意味着表面空间电荷区加宽。有控制地施加表面电场的办法是在半导体表面形成薄的绝缘层(如对半导体氧化形成薄的氧化层),在它上面做电极并加相应的电压。这种用于控制半导体表面的金属-绝缘体-半导体系统简称MIS(如果绝缘层采用氧化物,则称MOS)。

表面电场在排斥多数载流子的同时,也会吸引少数载流子,所以在MIS上加有足够大的电压时,会在半导体的极表面出现一个由少数载流子导电的薄层。它与半导体内部之间隔有空间电荷区,其中多数和少数载流子极为稀少,基本上是“耗尽”的。这种由反型载流子导电的薄层称为反型层。反型层也被称为导电沟道,以表明载流子的流动限于极狭窄的区域,如P型半导体表面的反型层称为N沟道,N型半导体表面的反型层称P沟道。当这种表面反型层很薄,其中载流子在垂直表面的方向是量子化的(从波动的观点看,是沿这个方向的驻波),载流子的自由运动只限于平行于表面的二维空间。在这种二维运动的研究中,把反型层中的载流子称为“二维电子气”。 在不同半导体之间,或半导体和金属直接连接时,它们之间的接触电势差意味着,它们的界面处是电势突变的区域,其中存在垂直于界面的电场和相应的空间电荷区。在它们之间施加电压时,电压主要降落在空间电荷区上,电压和通过空间电荷区的电流一般呈现非线性的伏安特性。

同一块半导体,由于掺杂不同,使部分区域是N型,部分区域是P型,它们的交界处的结构称为PN结。在 PN结的空间电荷区的P型一侧加正电压时(正向电压),会部分抵消接触电势差,使空间电荷区变窄,并使P区的空穴流向N区,N区的电子流向P区,这种来自多数载流子的电流随施加的电压迅速增长。加相反的电压时(反向电压),会使空间电荷区变宽,P区和N区电势差增大,这时的电流来自双方的少数载流子(N区的空穴流向P区,P区的电子流向N区),所以电流很小,而且随电压增加,很快达到饱和。 PN结两边掺杂浓度越高,接触电势差V0越大。当接触电势差增加到电子通过PN结所得到(或失去)的能量eV0超过禁带时,PN结的能带具有图10所示的情形。这时N区导带的电子可以直接穿入P区价带的空能级(空穴)。这种电子直接穿透禁带从导带的价带(或其逆过程)的现象称为隧道效应;这种高掺杂浓度的PN结称为隧道结。

半导体的表面是半导体物理研究的一个重要对象。半导体表面并不是一个简单的几何界面,而是具有自己独立特征的一个体系。在超高真空下对纯净半导体表面的研究以及理论计算都证明,在半导体表面一般存在表面电子态,处于表面电子态中的电子的运动被限制在极表面的二维空间中。另外,最表面层的原子的位置也发生典型的变化。一般表面原子层之间的间距和体内相比,发生一定的变化,称为表面弛豫。与此同时,原子在表面层中的排列的周期性和键合方式都可以发生典型的变化,统称为表面再构。再构的变化是一种相变过程,对半导体表面的物理和化学性质都有深刻的影响。 对非晶态半导体的研究只是近年来才有较大的发展。有一些非晶态的半导体属于玻璃态物质,可以由液态凝固获得,通过其他的制备工艺(如蒸发、溅射、辉光放电下淀积等)也可以制成非晶态材料。非晶态半导体的结构一般认为是由共价键结合的“无规网络”,其中每个原子与近邻的键合仍保持与晶体中大体相同的结构,但失去了在空间周期性的点阵排列。非晶态半导体与晶态半导体既有相似的特征,又有十分重要的区别。如非晶态半导体的本征吸收光谱与晶体半导体粗略相似,表明大部分的能级分布与晶体的能带相似。但是,在导带底和价带顶部都有一定数量的“带尾态”;一般认为它们是局域化的电子态。另外,连续分布在整个禁带中还有相当数目的所谓“隙态”,隙态的多少和分布都随材料和制备方法而不同。

非晶态半导体的导电具有复杂的性质,一般在较低温度是通过载流子在局域态之间的跳跃,在较高的温度则是依靠热激发到扩展态的载流子导电,但其迁移率比在晶体半导体中低很多。


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