;为什么半导体IC一般使用SiH4+N2O成膜;LPTS也基本上使用N2O 而液晶TFT-LCD一般使用SiH4+NH3成膜;

;为什么半导体IC一般使用SiH4+N2O成膜;LPTS也基本上使用N2O 而液晶TFT-LCD一般使用SiH4+NH3成膜;,第1张

ic一般生成为P-SI, LTPS和TFT 一般是a-si, LTPS 再将a-si激光退火为P-si。SiH4+NH3生成物为a-si,SiH4+N2O产物为SIO2,用的不是同一层,IC,LTPS,TFT都有好多层。不同层不一样。

折射率与a-Si膜的含氢量、致密程度相关。一般随着含氢量的减少和致密度的提高,折射率增大。在太阳能电池应用方面,需要知道a-Si的折射率,以由于光学匹配方面的计算,比如用来确定后续减反射膜的膜厚和折射率等。

半导体(semiconductor)指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。

发现历史:

1833年,英国科学家电子学之父法拉第最先发现硫化银的电阻随着温度的变化情况不同于一般金属,一般情况下,金属的电阻随温度升高而增加,但法拉第发现硫化银材料的电阻是随着温度的上升而降低。这是半导体现象的首次发现。

不久,1839年法国的贝克莱尔发现半导体和电解质接触形成的结,在光照下会产生一个电压,这就是后来人们熟知的光生伏特效应,这是被发现的半导体的第二个特性。

以上内容参考:百度百科——半导体


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