在半导体技术中lithography 是什么意思，怎么翻译

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解析:

lithography是一种平板印刷技术，在平面光波回路的制作中一直发挥着重要的作用。具体过程如下：

首先在二氧化硅为主要成分的芯层材料上面，淀积一层光刻胶；

使用掩模版对光刻胶曝光固化，并在光刻胶层上形成固化的与掩模板完全对应的几何图形；

对光刻胶上图形显影，与掩模对应的光刻胶图形可以使芯层材料抵抗刻蚀过程；

使用等离子交互技术，将二氧化硅刻蚀成与光刻胶图形对应的芯层形状；

光刻胶层剥离；

最后在已经形成的芯层图形上面淀积上包层。



使用lithography方法几乎可以在芯层材料上形成各种几何图形，图形的精细度取决于曝光系统的光源波长，现有UV、DUV、e-beam、x-ray、nano-imprint几种曝光方式。

1、设备便宜，成本低，易于打理；

2、最重要的是可以擦，遇到打错的时候，可以用特殊溶剂浸过之后，消除掉，如果是激光的话，一旦打错，这批元器件就废了。

PS：我的答案是从半导体封装厂的工程师嘴里问出来的，他们现在也都换激光打印了。激光打印最大的优点是速度快，防伪性好（主要是机器太贵，一些小厂买不起）。你的这个问题补充实在没看懂意思。太理论化了。

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