刻蚀是半导体制造中十分关键的一环,刻蚀通过物理或化学方法将硅片表面不需要的材料去除,从而将掩膜图形正确的复制到涂胶硅片上。
刻蚀过程需要用到刻蚀机这一设备。如今,我国在光刻机领域虽然还难以突破,但在刻蚀机领域,我国已经实现突围。
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刻蚀是半导体制造中十分关键的一环,刻蚀通过物理或化学方法将硅片表面不需要的材料去除,从而将掩膜图形正确的复制到涂胶硅片上。
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