请问,N-MOS、P-MOS分别指N沟道MOS管和P沟道MOS管吗?它们的剖面图和工艺版图是怎样的。求帮助

请问,N-MOS、P-MOS分别指N沟道MOS管和P沟道MOS管吗?它们的剖面图和工艺版图是怎样的。求帮助,第1张

MOS依照其“通道”的极性不同,可分为'N"沟与‘p“沟的MOSFET结构。

如图是典型平面N沟道增强型MOSFET的剖面图。它用一块P型硅半导体材料作衬底(图la),在其面上扩散了两个N型区(图lb),再在上面覆盖一层二氧化硅(SiO2)绝缘层(图1c),最后在N区上方用腐蚀的方法做成两个孔,用金属化的方法分别在绝缘层上及两个孔内做成三个电极:G(栅极)、S(源极)及D(漏极),如图1d所示。

平面N沟道增强型MOSFET从图中可以看出栅极G与漏极D及源极S是绝缘的,D与S之间有两个PN结。

一般情况下,衬底与源极在内部连接在一起。

扩展资料:

mos管是金属(metal)-氧化物(oxide)-半导体(semiconductor)场效应晶体管,或者称是金属-绝缘体(insulator)-半导体。

MOS管的source和drain是可以对调的,他们都是在P型backgate中形成的N型区。在多数情况下,这个两个区是一样的,即使两端对调也不会影响器件的性能。这样的器件被认为是对称的。

场效应管(FET),把输入电压的变化转化为输出电流的变化。FET的增益等于它的跨导, 定义为输出电流的变化和输入电压变化之比。市面上常有的一般为N沟道和P沟道,详情参考右侧图片(P沟道耗尽型MOS管)。而P沟道常见的为低压mos管。

P沟道mos管符号一个电场在一个绝缘层上来影响流过晶体管的电流。事实上没有电流流过这个绝缘体,所以FET管的GATE电流非常小。

最普通的FET用一薄层二氧化硅来作为GATE极下的绝缘体。这种晶体管称为金属氧化物半导体(MOS)晶体管,或,金属氧化物半导体场效应管(MOSFET)。因为MOS管更小更省电,所以他们已经在很多应用场合取代了双极型晶体管。

参考资料来源:百度百科-双极-CMOS集成电路

FinFET在发明之初就是为了解决平面晶体管的短沟道效应问题,其结构如图1所示。与平面晶体管不同之处在于FinFET的沟道平面垂直于衬底平面,并且沟道两侧以及顶部同时受到栅电极的电压控制,因此从静电势的分布来看,整个沟道厚度方向上存在着更为均匀的电场控制,使得沟道电荷更容易被栅电极的电压信号所调制,从而降低与源漏端的共享,即短沟道效应。

相比较32 nm平面晶体管,22 nm的FinFET器件亚阈值特性更加陡峭,从而能够在较低的阈值电压下工作而不破坏关态电流,从而获得更高的驱动电流。这使得FinFET可以在更低的工作电压下工作,获得超过37%的性能提升。

相比于FinFET器件,围栅纳米线器件可从各个方向控制沟道能电势,具有更强的短沟道效应控制能力,从而实现极小的泄漏电流。


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