（1）用于化合物半导体材料各组掺杂剂都气态式通入反应室通精确控制气态源流量通断间控制外延层组、掺杂浓度、厚度等用于薄层超薄层材料
（2）反应室气体流速较快需要改变元化合物组掺杂浓度迅速进行改变减记忆效应发能性利于获陡峭界面适于进行异质结构超晶格、量阱材料
（3）晶体热解化反应式进行单温区外延要控制反应源气流温度布均匀性保证外延材料均匀性适于片片外延便于工业化批量产
（4）通情况晶体速率与Ⅲ族源流量比速率调节范围较广较快速率适用于批量
（5）使用较灵原则要能够选择合适原材料进行包含该元素材料MOCVD供选择作反应源金属机化合物种类较性质定差别
（6）由于真空度要求较低反应室结构较简单
（7）随着检测技术发展MOCVD程进行位监测
实际于MOCVDMBE技术说采用所制备外延结构器件性能没差别MOCVD技术吸引入于通用性要能够选取合适金属机源进行外延且要保证气流温度均匀布获面积均匀材料适合进行规模工业化产
MOCVD技术主要缺点部均与其所采用反应源关首先所采用金属机化合物氢化物源价格较昂贵其由于部源易燃易爆或者毒定危险性并且反应产物需要进行害化处理避免造环境污染另外由于所采用源包含其元素（CH等）需要反应程进行仔细控制避免引入非故意掺杂杂质
通MOCVD程描述：精确控制流量反应源材料载气（通H2系统采用N2）携带通入石英或者锈钢反应室衬底发表面反应外延层衬底放置加热基座反应残留尾气扫反应室通除微粒毒性尾气处理装置排系统MOCVD工作原理图所示
图 MOCVD工作流程图
台MOCVD设备简要4部
（1）气体 *** 作系统：
气体 *** 作系统包括控制Ⅲ族金属机源V族氢化物源气流及其混合物所采用所阀门、泵及各种设备管路其重要通入反应室进行反应原材料量进行精确控制部主要包括流量进行控制质量流量控制计（MFC）压力进行控制压力控制器（PC）金属机源实现温度控制水浴恒温槽（Thor·mal Bath）
（2）反应室：
反应室MOCVD系统核组部反应室设计效至关重要影响同MOCVD设备产厂家反应室设计所同终目相同即避免反应室现离壁射流湍流存保证存层流实现反应室内气流温度均匀布利于面积均匀
（3）加热系统：
MOCVD系统衬底加热式主要三种：射频加热红外辐射加热电阻加热射频加热式石墨基座射频线圈通诱导耦合加热种加热形式型反应室经采用通系统于复杂避免系统复杂性稍反应室通采用红外辐射加热式卤钨灯产热能转化红外辐射能石墨基座吸收种辐射能并其转化热能电阻加热式热能由通金属基座电流流提供
（4）尾气处理系统：
由于MOCVD系统所采用数源均易燃易爆雨其氢化物源剧毒必须反应尾气进行处理通采用处理式尾气先通微粒滤器除其微粒（P等）再其通入气体洗涤器（Scrubber）采用解毒溶液进行解毒另外种解毒式采用燃烧室燃烧室包括高温炉900～1 000℃尾气物质进行热解氧化实现害化反应产物淀积石英管内壁容易除
【生命科学】电泳仪/电泳槽 细胞样品收集器 自动部分收集器/自动样品采样仪 PCR扩增仪/PCR热循环仪 紫外检测仪/紫外分析仪 液氮生物容器(液氮罐) 冷冻干燥机(冻干机) 干式恒温器/恒温混匀仪 血红蛋白仪 核酸蛋白仪/酶标仪/生化分析仪 雪花制冰机 组织芯片制备仪/细胞程控降温仪 动物人工呼吸机/溶剂过滤器 层析柱 微波化学反应器 移液器/移液q/分液器 微孔板恒温孵育器 氮气吹扫仪【光学仪器】可见分光光度计 紫外可见分光光度计 荧光分光光度计 红外分光光度计 原子吸收分光光度计 光泽度仪(计) 旋光仪/圆盘旋光仪 火焰光度计 白度测定仪(白度计) 测色仪/色差仪/罗维朋比色计 应力仪 熔点测定仪/熔点仪 照度计/日照计/测光仪 紫外辐照计 光度计/光强计/亮度计 光电雾度计/透光率雾度测定仪 阿贝折射仪/棱镜折射仪
【箱类器材】真空干燥箱 鼓风干燥箱 电热恒温干燥箱 远红外干燥箱(烘箱) 胶片干燥箱 精密节能干燥箱 霉菌培养箱 振荡培养箱 隔水式培养箱 电热恒温培养箱 光照培养箱 生化培养箱 人工气候箱(培养箱) 恒温恒湿箱 高低温试验箱(湿热试验箱) 盐雾试验箱 二氧化碳培养箱(CO2) 植物培养箱/植物生长箱 老化试验箱 真空手套箱(惰性气体 *** 作箱) 电热恒温水箱 高温烧结箱 定碳炉 低温冷阱/半导体冷阱
【温控仪表】电热板/加热板/控温板 电热套/加热套/控温套 箱式电阻炉(马弗炉) 管式电阻炉/管式高温炉 坩埚电阻炉/坩埚电炉 单管定碳炉/双管定碳炉 封闭电炉/万用电炉 恒温水(油)浴/恒温水槽 恒温水浴锅 低温恒温槽/低温恒温浴 控温仪/温控仪/温度控制仪 电砂浴/电沙浴
【无损检测】转速表/频闪仪 测振仪(振动监测仪/变送器) 机械故障检测仪/机械故障听诊器 地下管道/管线探测检漏仪 麦式真空计/压力真空计/热偶计/电阻计/复合计 泄漏检测仪 电火花检漏仪/电火花针孔检测仪 现场动平衡仪 洗片机/观片灯 超声探伤仪 磁粉探伤仪 X射线探伤机 其它无损检测设备 焊缝外观检测工具箱 表面粗糙度测量仪 红外测温仪 看谱镜(验钢镜) 黑白密度计 油质分析仪
【量具量仪】数显卡尺 游标卡尺 带表卡尺 千分表/百分表 千分尺 高度尺/深度尺 数显万能角度尺 扭矩测量仪/扭力测试仪 卡表/卡规 数显标尺 管形测力计/管形拉力计/管形推力计 推拉测力计/拉压测力计/拉力计
【除湿净化】除湿机/抽湿机/吸湿机 超声波清洗器 空气净化器 自动蒸馏水器/电热蒸馏水器 灭菌器/蒸汽消毒器 臭氧消毒机 超净工作台 消毒杀菌净手器 电动气溶胶喷雾器 纯水机/超纯水机 防潮柜/防潮箱/氮气柜 不锈钢存尸冷藏柜
【常规设备】电动搅拌机 磁力搅拌器 研磨机/球磨机/沙磨机/平磨机 匀浆机/分散机/均质机/捣碎机 万能粉碎机/中药粉碎机/破碎机 锥形磨/胶体磨 恒温摇床/脱色摇床/摇瓶柜 振荡器/恒温振荡器 旋涡混合器/梯度混合器 空气压缩机/无油空压机 粉末压片机(油压机)/模具 切割机/镶嵌机 抛光机/预磨机/磨抛机 定时器/定时计 旋转蒸发器 层析实验冷柜 玻璃反应釜/真空恒温反应器
【石化仪器】石油产品闪点和燃点试验器 石油产品恩氏粘度计 石油产品密度试验器 铜片/银片/润滑脂/液相腐蚀试验器 石油产品蒸馏(馏程)试验器 石油产品酸值/酸度试验器 石油产品灰分测定仪/色度测定仪 石油产品水分试验器 石油产品硫含量试验器 机械杂质/残留物/残炭/沉淀物测定仪 石油产品运动粘度测定器 倾点/浊点/冰点/凝点/冷滤点试验器 抗泡沫特性/抗乳化性能试验器 润滑脂滴点试验器 饱和蒸汽压试验器/实际胶质试验器 原油中蜡含量测定仪 氧化安定性测定仪 润滑油蒸发损失测定仪 液体石油采样器/取样器 绝缘油耐压测定仪 绝缘油体积电阻率测定仪 润滑油空气释放值测定仪 萘结晶点试验器/苯胺点试验器
【药检仪器】切片机 澄明度检测仪 片剂多用测定仪(硬度.脆碎度.崩解度.溶出度) 药物光照试验仪 制丸机 细菌内毒素检查仪 药物透皮扩散试验仪 药物溶出度仪 片剂脆碎度测定仪 微机热原测温仪 崩解时限测定仪(崩解仪) 包衣机/小型包衣机
【涂料仪器】涂料比重杯 漆膜附着力试验仪/划格试验仪 建筑涂料耐洗刷仪/磨耗仪 粒子细度试验仪(刮板细度计) 三辊机/平磨机 涂膜器/成膜器 干燥性能试验仪 柔韧性测试仪(杯突试验仪/弯曲试验仪/d性试验器) 样品杂质分析仪 漆膜冲击试验机 目视比色箱/铁钻比色计
弄清楚干扰的来源、种类。采取相应的措施。
假如干扰来自外部，接地和屏蔽是你首先要做好的事。假如干扰来自市电的50Hz交流电，那么所有仪器使用同一相并一点接地，必要时使用50Hz陷波电路去除干扰。假如干扰来自探头、高阻输入部分的热噪声，那么在可能的情况下减小输入阻抗（这与为对被测电路影响小而需要提高输入阻抗相矛盾，你需要看情况权衡取舍），必要时把整个装置放入低温环境（如半导体恒温槽、干冰，甚至液氮、液氦中）。
示波器是一种用途十分广泛的电子测量仪器。它能把肉眼看不见的电信号变换成看得见的图像，便于人们研究各种电现象的变化过程。示波器利用狭窄的、由高速电子组成的电子束，打在涂有荧光物质的屏面上，就可产生细小的光点（这是传统的模拟示波器的工作原理）。在被测信号的作用下，电子束就好像一支笔的笔尖，可以在屏面上描绘出被测信号的瞬时值的变化曲线。利用示波器能观察各种不同信号幅度随时间变化的波形曲线，还可以用它测试各种不同的电量，如电压、电流、频率、相位差、调幅度等等。
受外界干扰 可以设置机器的防干扰码 KYT-999 没有接触过 接触过888 使用好易通TC-268S软件调频 将机器接收发射都加上哑音 就可以 不知道你的机器有没有这个功能 还有个办法就是改频 进入调频软件更改频率即可。
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