半导体工艺废气如何处理？

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半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。

半导体有机废气处理办法

采用RTO设备处理

RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水，净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量，废气分解效率达到99%以上，热回收效率达到95%以上。

直接燃烧法处理

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉（TO）→烟囱排气达标排放。

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活性炭滤芯采用活性炭颗粒加入粘结剂加温烧结而成。滤芯最内层为聚丙烯骨架，用以加强滤芯的耐压强度。骨架上包有两层聚丙烯超细纤维毡，能截住液体通过碳芯而带出大于10微米的颗粒。熔喷式滤芯外层包有两层聚丙烯超细纤维毡，能截住液体中大于10-20微米的颗粒，使滤芯具有过滤与净化双重功能。最外层为白色塑料网套，使滤芯具有完整的外表与整洁的外观。滤芯两端装有柔软的丁睛橡胶端盖，使滤芯装入滤筒后具有良好的密封性。成品活性炭滤芯均用塑料薄膜严密包封，防止滤芯被污染并保持滤芯经常处于清新状态。活性炭滤芯具有良好的吸附作用，能有效除去水中的余氯、异味，颜色及有机物等。

技术原理

活性炭滤芯是以优质的果壳炭及煤质活性碳为原料，辅以食用级粘合剂，采用高科技技术，经特殊工艺加工而成，它集吸附、过滤、截获、催化作用于一体，能有效去除水中的有机物、余氯及其他放射性物质，并有脱色、去除异味的功效。是目前液体，空气净化行业中较为理想的新型换代产品。

种类：压缩活性炭滤芯、碳纤维滤芯、颗粒活性炭滤芯

过滤方法

活性炭过滤，根据活性炭的吸附特点, 活性炭主要用于除去水中的污染物、脱色、过滤净化液体、气体，还用于对空气的净化处理、废气回收(如在化工行业里对气体苯的回收)、贵重金属的回收及提炼(比如对黄金的吸收)。 活性炭其主要是以含炭量较高的物质制成，如木材、煤、果壳、骨、石油残渣等。而以椰子壳为最常用的原料，在同等条件下，椰壳的活性质量及其它特性是最好的，因其有最大的比表面。活性炭是一种多孔径的炭化物，有极丰富的孔隙构造，具有良好的吸附特性，它的吸附作用集物理及化学的吸咐力而成的,其外观色泽呈黑色。其成份除了主要的炭以外，还包含了少量的氢、氮、氧，其结构则外形似以一个六边形，由于不规则的六边形结构，确定了其多也体枳及高表面积的特点，每克的活性炭所具的有比表面相当于1000个平方米之多。

产品特点

活性炭滤芯具有良好的吸附作用，能有效除去水中的余氯、异味，颜色及有机物等。活性炭滤芯为真正深层型结构，具有过滤与净化双重功能，滤芯精度为10微米公称过滤精度。使用时不需添加助滤剂，也不需进行碳处理后的过滤。每支活性炭滤芯含植物无硫活性碳颗粒160克。用于电镀液净化，由于滤芯不会析出纤维或其他物质而使镀层出现针孔或脆性。耐压强度：0.4Mps　使用温度：52℃

用途

活性炭滤芯适用于半导体，电子器件，印制电路板，电镀工业，食品饮料工业等部门的工艺用水及溶液的净化。

适用于以下行业：　

一．电子、电力工业：纯水、气体、电渡液、印刷线版等等。

二．化工、石油化工：溶剂、涂料、磁浆、洗涤剂、液腊等等。

三．医药制药工业：医院用水、制药针剂、中服液等等。

四．食品工业：食品、饮料、饮用水、酒类等等

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半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物，分离和处理难度比较大。

半导体废气治理办法

半导体酸废气处理通常采用碱液体喷淋法，又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解去除污染物，而达到大气排放标准，故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。

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