半导体光刻机与银浆光刻机区别

半导体光刻机与银浆光刻机区别,第1张

目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外光刻技术。EUV为先进工艺芯片光刻的发展方向。那么duv光刻机和euv光刻机区别是是什么呢?

duv光刻机和euv光刻机区别

1.基本上duv只能做到25nm,而euv能够做到10nm以下晶圆的生产。

2. duv主要使用的是光的折射原理,而euv使用的光的反射原理,内部必须是真空 *** 作。

以上就是duv光刻机和euv光刻机区别了,现在基本都是euv光刻机。

半导体激光雕刻机应用行业:广泛应用于金银首饰、电子、眼镜、通讯产品、标牌、精密机械等金属材料标刻。LSDP-50V优点: 能耗低:应用高效半导体矩阵,使激光转换效率高,总机功耗<900W。只是同等激光功率氪灯泵浦激光系统的四分一。 一体化:高度集成化整机系统,安装简单,便于移动,有利于更好利用空间。 无耗材:仅是定期更换水和滤芯。无须换氪灯等其它耗材,降低了运行成本。 可靠性高:全数字控制系统。没高压元器件,保证了系统的可靠性和稳定性。 效率高:采用先进的扫描系统,最高速度达800mm/min。 精度高:最小字符达0.2mm,适合超精细加工。 配套齐全:整机配旋转夹头,电动数控升降。 *** 作简单:全触摸屏智能控制,界面友好, *** 作简便.


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