1.这个公司是美国AXCELIS公司在日本的分公司,主要是设计离子注入机的。
2.NV-GSD是他们公司离子注入机的牌子 就像APPLE的IPHONE一样,HE是型号
3.EATON被AXCELIS买下来了,因此以上两家并无关系。SUMIMOTO是AXCELIS在日本的子公司
我前段时间也学习了解了一下晶圆的制作过程,有些资料,你看看吧~@~由半导体国际收集
晶圆清洗设备
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半导体工艺用石墨元件/材料
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东洋炭素株式会社TOYO TANSO
西格里碳素集团SGL Group
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