etch意思是干法刻蚀,lithography,litho,photo都指光刻。etch只负责etch工艺研发,litho只负责litho工艺研发。工艺部门最好的是litho第二是etch。
一般半导体研发中litho在前,etch在后。litho曝光完成对图案的传递后,再利用etch蚀刻技术把图案转移到光刻胶下面的film中。
是的。Etch是半导体制造工艺,微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。工艺工程师是很累的,算是所有制程里最累的之一,每年离职率都高。是与光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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