光学cd值越大

其中，CD为曝光关键尺寸，K1为工艺常数，λ为光波长，NA为投影物镜的光学数值孔径。CD值越低，代表分辨率越高，也就是，光刻技术只有每两年把CD降低30%~50%，摩尔定律才能得以应验。

所以，提高光学分辨率的方法有三种，降低K1值，提高数值孔径NA，降低波长λ。在现实的技术工艺中，K1值和NA值的改进有限，而降低曝光光源的波长λ成为光刻技术持续推动的趋势。

CD+/-10%。光刻曝光宽容度公式是CD+/-10%，曝光宽容是指光学曝光系统可以形成符合设计版图要求的曝光能量范围。通常使用曝光结果检测的关键尺寸（CD）值的变化量在+/-10%范围内的曝光能量选择范围来定义。

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