至纯科技—立足高纯工艺，半导体清洗设备将迎增长

东吴证券发布投资研究报告，评级: 增持。

至纯 科技 (603690)

国内高纯工艺系统龙头，后发进军半导体清洗设备业务

至纯 科技 主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备业务，2019年收入分别为6.37亿元和0.82亿元，占比总收入的65%和8%。其中，半导体清洗设备业务，虽然起步稍晚，但市场空间大、增速快，是公司的最大业务亮点。2015-2019年公司收入由2.08亿元增长至9.86亿元，CAGR达48%，归母净利润从1770万增长至1.1亿，CAGR达57%。

2019年公司收购波汇 科技 进军光传感器市场，产业链向下延伸的同时也将与现有的泛半导体行业多项业务形成协同效应。

高纯工艺系统：国内龙头地位稳定，为公司提供稳定的现金流

高纯工艺系统是为下游企业提供整体解决方案的业务，属于特定行业的系统集成业务，是制造业企业新建厂房和生产线的固定资产投资的重要组成部分，约占其固定资产投资总额的5%-8%。

公司高纯工艺系统国内龙头地位逐步稳固，客户选择系统供应商非常谨慎、客户粘性高，预计未来可保持年化10%-20%的复合增长。目前行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，呈现出高等级市场集中度较高（主要为国外龙头）、低等级市场较为分散的竞争格局。公司董事长蒋渊曾是行业龙头美国凯耐第斯的中国区营销总监，团队技术积累深厚，帮助至纯的系统集成业务逐步实现进口替代。2012年-2019年高纯工艺系统收入从1.37亿元增长到6.37亿元，复合增速为25%，是为公司提供稳健增长现金流的业务板块。主要下游为医疗、光伏、半导体等，订单增长与下游客户的固定资产投资紧密相关。我们预计2020到2022年高纯工艺系统收入分别为8.6、10.4、11.4亿元。

进军半导体清洗设备领域，赛道好空间大，容易率先实现全面国产化

清洗设备在半导体设备市场中价值量占比约5-6%，较光刻、刻蚀等核心设备价值量较低。同时技术门槛也较低，比较容易率先实现全面国产化，故市场空间大。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备的空间在15-20亿美元，到2023年清洗机的国产化率可达40%-50%，即国产设备的市场空间在40-70亿元。且预计未来12寸晶圆的槽式和单片式清洗设备将是市场的主要增量，其中单片式清洗机至纯有望成为少数几家具备核心技术的国内设备商。

公司的半导体清洗设备主要包括湿法槽式清洗设备（难度低）和单片式清洗设备（难度高）。2019年起开始批量出货，目前槽式清洗设备和单片式清洗设备均能应用于8寸及12寸的晶圆。公司凭借技术优势，迅速积累了中芯国际、北京燕东、TI、华润等高端客户资源，2019年湿法工艺装备新增订单总额达1.7亿元（截止2019年末，累计已取得近40台正式订单，已完成近20台设备装机）。目前公司启东一期生产基地全面建成，已达到48套/年的产能，一二期共规划96套/年，公司于2019年12月发行可转债，募资3.56亿元投入槽式和单片式清洗设备的生产制造。项目预计在2022年达产，预计初步可贡献最高达9亿元的清洗机业务的收入规模。我们预计2020到2022年半导体设备收入分别为1.6、2.9、5.0亿元。

盈利预测与投资评级：

我们预计公司2020-2022年的净利润分别为1.5亿、2.1亿、2.8亿，当前股价对应动态PE分别为53倍、38倍、29倍，在可比公司中处于最低位置，我们看好公司半导体清洗设备业务的发展，在估值上存在提升空间，首次覆盖给予“增持”评级。

风险提示：半导体业务进展不及预期；毛利率波动风险；收购协同效应不及预期。

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相较于其他多种的清洗方式，超声波清洗机展现出了巨大的优越性，尤其是在系统化、集团式的生产企业中，已经逐渐用超声波清洗工艺替代了传统的浸洗、涮洗、压力冲洗、振动清洗和蒸汽清洗等工序方式。

超声波清洗机的高效率和高洁净度，归功于其超声波在介质中散播过程中产生的穿透性和空化冲击力，这样很容易将含有复杂外形，内腔和细孔的零部件清洗干净；对于一般的去油、防锈处理、磷化等工艺过程，在超声波作用下仅需两三分钟就可以完成，其速度比传统清洁方法可以提高几倍，乃至几十倍，洁净度就可以达到高标准化。

可以做到清洗全方位的清洗方式并非只有超声波清洗一种，例如溶液清洗也可以做到，可是溶液清洗的费用较高，且不能清洗功效较低。超声波清洗机在兼备清洗效果和清洗全方位性的同时，清洗成本也很低，一般仅有设备成本和用电成本罢了，加清洁剂也只需加少许就可以。此外，超声波清洗机的使用方便，清洗量也算不上小，在人工成本上也节省了不少。

超声波清洗机可用于以下行业：

1、机械制造业：防锈油脂的去除，测量仪器的清洗，机械部件的去油防锈处理，发动机、化油器及汽车零部件的清洗，过滤器、滤网的疏通清洗等。尤其是在铁路行业，对列车车厢空调的去油去污、对列车车头各部件的防锈处理、去油、防锈处理，特别适合。

2、金属表面处理行业：电镀前的去油防锈处理，离子镀前清洗，磷化处理，清除积碳，清除氧化皮，清除抛光膏，金属工件表面活化处理等。

3、仪器仪表行业：精密件的高洁净度装配前的清洗等。

4、电子产业：印刷电路板除松香、焊斑，高压触点等机械电子零件的清洗等。

5、医疗器械行业：医疗机械的清洗、消毒、杀菌、实验容器的清洗等。

6、半导体业：半导体晶片的高洁净度清洗。

7、钟表首饰行业：清洗油垢、尘土、氧化层、抛光膏等。

8、有机化学、生物行业：实验容器清洗、去垢。

9、光学行业：光学元件的去油、除汗、除灰等。

10、印染行业：清洗纺织锭子、喷丝板等。

11、化工石油业：金属滤网的清洗疏通、化工器皿、交换器的清洗等。

12、其他：感光材料制造、造纸工业、某些食品领域内的液态消泡（去除溶解的空气）。

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