半导体晶圆卡盘的常见尺寸有哪些?

半导体晶圆卡盘的常见尺寸有哪些?,第1张

半导体晶圆静电卡盘有多种形状、尺寸和材料可供选择。它们通常是圆形的,比晶圆尺寸稍大。常见的尺寸范围从直径50毫米到超过300毫米。

大多数卡盘具有圆形(同心)环真空设计,并且通常会夹持小管芯、部分晶片和整个晶片。例如,150毫米(6英寸)卡盘将具有真空环图案,允许夹持单个芯片、50毫米、75毫米、100毫米和150毫米晶圆。 硅集成器件和电路的物理尺寸对晶片器件的处理施加了一定的限制。

在这方面,我们将开始与探针站的讨论,这是处理硅片或die芯片的关键设备,并为晶片探测提供了机械力学设备。 我们会向读者介绍通常用于射频和微波器件表征的共面波导探针。 测量装置的另一个重要部分是校准衬底基板,它允许我们在实际测量之前校准设置。

最后,我们会向读者介绍由探针站及其所有附件组成的整个测量装置以及矢量网络分析仪(VNA)。 不熟悉的读者可能认为这些设备微不足道,但它们在表征过程中起着至关重要和独特的作用。

在测试装置和测量仪器之间,使用晶片探针和任何其他同轴传输介质提供信号传播手段。 对于线性器件的宽带频域表征,我们通常使用矢量网络分析仪(VNA)作为选择的仪器。 在一个单一的测量设置中连接所有上述部分可能显得微不足道,但只有那些熟练的专家才能真正理解所有的技术细节。 本文的目的是引导读者通过微波微波表征过程,并介绍必要的设备。

寸(inch)

名称

所在城市

状态

12

SMIC FAB4

北京

总耗电量31.5MVA

12

SMIC FAB5

北京

二期扩建,投资巨大,狐狸露出尾巴

12

SMIC FAB6C

北京

Cu process

12

SMIC FAB8

上海

2012被水淹

12

武汉新芯

武汉

飞索包下3k~5k/m订单

12

Hynix-ST

无锡

国内规模一哥,对华族无实质利益

12

Intel FAB68

大连

假公济私,离海岸线仅有数百米

12

华力FAB2

上海

平衡SMIC的一个棋子

12

山东华芯

济南

摇旗呐喊,学忽悠

12/8

(VIP站友可知)

潍坊

计划中,尚未启动

8

大连理工大学微电子学院

大连

没钱

8

TSMC FAB10

上海

潜龙在渊

8

华力FAB 1,2,1C

上海

原HHNEC

8

SMIC FAB1,2,3B,9

上海

2012被水淹

8

SMIC FAB10

上海

solar cell,被卖了

8/12

(VIP站友可知)

福州

注册资本金到位,选址完毕,高管团队就位

8

SMIC FAB7

天津

中国第一批新生代半导体菁英摇篮

8

TI成都

成都

1/3贱价卖出

12/8

SMIC

深圳

倒闭倒计时中...

8

华润微电子FAB 2

无锡

本站在该公司新成立之时就宣判该公司财务上死亡,但目前官方宣传一切正常,继续观察中...

6

邦普power

江苏海安

原GMIC,已被收购完毕,改6寸

8

和舰HJTC FAB1,2

苏州

回归母体,曲线西进

8

晶诚

郑州

玩笑破灭中...又跑到包头继续开更大玩笑

8

ASMC FAB3

上海

漏洞百出

8

中联国际

山东东营

洁净室施工中,近日可能搁浅

8

中科渝芯

重庆

8

(VIP站友可知)

大连

又有重新启动的可能

6

睿创微纳

烟台

MEMS fab

6

ASMC FAB1

上海

2012被水淹

6

BCD

上海

海外上市融资

6

士兰

杭州

2012被水淹,真正民族旗帜,值得敬佩

6

华润晶芯

无锡

华润微电子整体开始盈利

6

珠海南科ACSMC

珠海

2012被水淹,8寸项目无法启动

6

中环

天津

枯藤老树昏鸦

6

西岳(77所)

西安

2015年,本站准备组织义勇军去挖掘废墟去

6

方正

深圳龙岗

力争国内6寸一哥,目标远大

6

晶新

扬州

on building

6

韩国SK

深圳

投资3200万美元SoC项目

6

吉林华微FAB3(麦吉科)

吉林

已投产

6

杭州力昂

杭州

2012被水淹

6

福建福顺

福州

新购sony 6寸线,规模快速扩大中

6/8

厦门集顺

厦门

台湾友顺花开两朵。8寸线可能落在厦门集美北部工业区,也有说法落地福州

6

北京燕东

北京

2012被震塌了

6

安森美(菲尼克斯)半导体

四川乐山

已获政府批准

6

科达半导体

山东东营

6寸IGBT后工序生产线(同样的还有无锡凤凰),封装测试线已投产

<///><///><///><///> 6

比亚迪BYD

宁波

收购原宁波中纬,整合结果待观察

<///><///><///><///> 6

littlefuse(康可电子)

无锡

状态不明,似乎还活着

<///><///><///><///> 6

中洋田

广东中山

情况不明

<///><///><///><///> 5

士兰

杭州

2012被水淹

<///><///><///><///> 5

扬州晶新

扬州

2012被水淹

<///><///><///><///> 5

深爱

深圳

深圳方正对面

<///><///><///><///> 5

扬州国宇

扬州

ongoing

<///><///><///><///> 5

浙江华越

绍兴

国有老厂,廉颇老矣

<///><///><///><///> 5

华兴

香港

华智?

<///><///><///><///> 4

逸仙半导体

广东珠海

总裁邓海屏,情况不明

<///><///><///><///> 4

天水

甘肃

2015还在否?

<///><///><///><///> 4

扬州晶新

扬州

倒卖设备先锋

<///><///><///><///> 4

福建安特

莆田

人员大规模异动

<///><///><///><///> 4

上海贝岭

上海

老树枯藤昏鸦

<///><///><///><///> 4

深爱

深圳

2012被水淹

<///><///><///><///> 4

吉林华微

吉林

2015年,本站组织义勇军去挖掘废墟

<///><///><///><///> 4

浙江华越

绍兴

2012被水淹

4

江阴长电

江阴

自有功率器件小线

4

捷来电子

启东

盈利

4

捷捷电子

启东

盈利

4

58所华晶

无锡

2012被水淹

4

华普

无锡

2012被水淹

4

明芯

江苏海安

盈利

4

福顺

福建福州

2012被水淹

4

燕东

北京

2012震塌了

4

安顺

丹东

台湾友顺的子公司

4

敦南科技

无锡

还好

4

58所华晶

无锡

2012被水淹

4

鼎霖

北京

0.5微米半导体特种工艺生产线

4

东光

宜兴

上市了,又中股市三年必倒魔咒,高度风险中…

全国的,你看看


欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出

原文地址: http://outofmemory.cn/dianzi/9163060.html

(0)
打赏 微信扫一扫 微信扫一扫 支付宝扫一扫 支付宝扫一扫
上一篇 2023-04-25
下一篇 2023-04-25

发表评论

登录后才能评论

评论列表(0条)

保存