黄光区是指TFT工厂或者半导体工厂中的光刻区包含光刻胶涂布、曝光、显影及刻蚀工序
在半导体工业普遍使用的光刻胶,类似于相机的胶片,在遭遇光线照射(特别是紫外线)即有曝光之效果,因此在显影之前,都要远离此光源。因为黄光的波长较长,不容易使得光刻胶曝光,因此将黄光作为显影前最理想的照明光源。
产生薄膜、扩散、蚀刻的影响。黄光区有电压稳定装置,不致发生晶圆报废情况,但半导体黄光会产生薄膜、扩散、蚀刻区的风险,且较大,可以说是全面报废。
黄光是在半导体行业里,将硅片等晶片进行涂胶、软烘、曝光、显影、硬烤,使其光刻出一定图形的工艺。特点是,黄光是精细电路的制程工艺之一。
洁净室有白光区和黄光区是为了人的视觉舒适以及更好的生产产品综合考虑的。适当提高洁净厂房的人工照明照度水平,提高工作人员的视觉卫生,促进国民经济的发展都是有利的。目前国家正在制定《工业和民用建筑照明设计标准》,新规范中的照度标准将有较大的提高。不过考虑到生产车间的明暗适应,洁净厂房的走道、休息室的照度与工作时的照度等级不能相差太大,一般相差1~2个等级较合适,但最低不能低于100 1x。有窗洁净厂房的标准与普通生产厂房一样按现行国家标准《工业企业照明设计标准》GB50034-92执行。 不同的洁净工业厂房照度按工艺要求的不同也有较大的差异,如显像管工厂的电子q装配车间混合照明的照度要达到1000~3000 1x,除设置一般照明外,还需设置局部照明,局部照明占混合照明照度的比例不能太大,一般照明照度为混合照明照度的5~15%。我国由于电力较紧张扩大了局部照明在混合照明中的照度比例。如果空间照度低,容易产生眩光,使人感到疲劳,但光源亮度不能太高,常选用荧光灯等线状光源或带磨砂玻璃的白炽灯。其次,洁净厂房中对光源有特殊要求的车间,如:显像管厂的荧光粉涂敷间、半导体厂房中的光刻间,为了防止感光材料的感光,必须使用黄色或红色光源的,应满足其特殊要求选用黄色荧光灯管或低压钠灯,黄色荧光灯管也有两种,一种为灯管内壁涂黄色荧光粉;另一种为白色荧光灯管外套黄色塑料套管,他们的光通量比一般荧光灯都要低。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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