“半导体厂”、“芯片厂”和“半导体厂”对人有辐射?他们对环境有污染吗?

“半导体厂”、“芯片厂”和“半导体厂”对人有辐射?他们对环境有污染吗?,第1张

1、污染肯定有。\x0d\x0a2、半导体厂主要生产半导体原材料,比较高纯度的硅,在提炼硅的时候,可能存在空气和水污染。空气污染主要来源于在处理过程中挥发出来的酸性气体,水污染除了有加工使用的化学物质外,还可能带来重金属的污染。\x0d\x0a3、芯片厂主要是光刻、封装这块。可能存在的污染也包括空气和水两部分,相对来说,光刻这块水污染的可能性更大一些,而封装这块,由于存在电镀,主要以空气、水污染为主。\x0d\x0a4、污染大小关键要看企业环保控制力度大小,我参观过一些半导体和芯片封装企业,他们外部看到的污染情况,其实远比一般企业(比如机械加工企业)要小,无论是噪音,空气还是水这块。原因是半导体产品的价值含量很高,特别是光刻这块,小小一盒半导体芯片(类似大号光盘盒子一样)可能就价值几十万上百万。\x0d\x0a5、辐射污染,如果你后面不是直接挨着配电房的话,应该问题不大。如果挨着的,辐射污染也可能有。因为半导体产业这块,用电很大,而辐射的大小其实跟用电有很大关系。\x0d\x0a世界上最大型的半导体企业,比如美国的德州仪器(TI)公司,就把生产企业安排在远离人群居住的地方,主要也是污染的原因,可以想象,这种企业潜在的污染还是大的。

对身体有害。

半导体产业属于重污染企业,工厂内会有大量的酸性气体。这些气体来自于晶圆的蚀刻、清洗等过程。如HCl、HNO3、NH4OH等气体都很容易产生大量的浓烟,这些烟雾中含有刺激性且含毒性的NO2等等。

由于半导体制造的过程中会需要大量使用光阻液、显影液等等,这些溶液主要是有机物质,因此在蚀刻、清洗、薄膜生长等过程中,会有大量的有机溶剂被使用,其中就包括二甲苯、丙酮、苯、CCl4、CF4、CCl2F2等等,其中苯就是高毒性的一级致癌物。

半导体工厂对有害物质实施的措施

为了防止这些污染伤害员工、污染环境,半导体工厂需要有极为严格的污染防治措施,包括实时处理工作场所的空气、妥善处理生产废料。

尤其是快速发展的亚微米工艺对生产现场的空气洁净度要求特别高,所有半导体加工设备都必须放置在与灰尘隔离的封闭空间中,即为洁净室。

洁净室的洁净度有一个公认的标准,以10类为例,是指在单位立方英寸的洁净室空间内,平均只有10个粒径在0.5微米以上的粉尘,所以Class数越少,清洁度越好,当然成本也越贵。同时,也是洁净室设备厂商保证洁净空间安全、舒适、节能、高效。

半导体的生产是有重污染的。首先,半导体工厂中会有大量的酸性气体(这些气体来自蚀刻和清洗晶圆等)。其次,由于光刻胶溶液、显影液等用量较大。用在半导体制造过程中,这些溶液主要是有机物质,所以在蚀刻,清洗、薄膜生长等过程中。将使用大量的有机溶剂,包括二甲苯、丙酮、苯、四氯化碳、四氯化碳、二氯化碳F2等。其中,苯是一种剧毒的一级致癌物。为了防止这些污染伤害员工和污染环境,半导体工厂需要采取极其严格的污染预防措施,包括工作场所空气的实时处理、生产废物的妥善处理等。可以说,如果污染治理的任何一个环节出现问题,都有可能对员工身体造成很大的伤害,也有可能对周围环境造成很大的污染。


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