生产半导体用化工原料检验标准

生产半导体用化工原料检验标准,第1张

在半导体工艺中,硫酸常用于去除光刻胶和配制洗液等。清洗中主要利用其强酸性、氧化性来解脱吸附在硅片表面的金属和无机物。浓硫酸不仅能与金属活动表中氢以前的金属作用,而且在加热条件下还能与金属活动表中氢以后的金属铜、汞、银等金属发生氧化还原反应。

如果有还原性物质,硫酸的氧化性就会下降,清洗不彻底吧

硫酸的用途:硫酸为化工之母,可分为工业硫酸、精制硫酸、电子级硫酸等;工业硫酸主要用于生产化肥;精制硫酸用于电池行业及化验试剂;电子级硫酸回用于半导体、光伏太阳能等微电子行业的蚀刻和清洗;从行业期刊杂志了解,河南安阳岷山生产工业酸、精制酸、电子级硫酸;当然是强酸,所谓强酸指的是在水中能完全电离酸,浓硫酸虽然基本上是硫酸分子,可是只要溶于水,那溶解的部分就是100%电离成氢离子和硫酸根离子,妥妥的在水中完全电离,当然是强酸了


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