首先要明白硅是半导体,这点跟金属的性质是不同的。
半导体的导电主要依赖载流子,也就是电子(electrons) 和空穴 (holes)。相反,在金属中,电子不受束缚,可以自由流动,金属的导电主要依赖自由电子。
从能带理论中,半导体存在价带和导带。电子最初是被束缚在价带的共价键中,在绝对零度下,电子是不能运动的。随着温度升高,共价键逐渐断裂,电子脱离束缚,跃迁到导带中,相应地在原来的位置形成一个空位(holes),载流子浓度因此升高。
在外部电场的作用下,电子迁移,填补到旁边的空位中,这个过程,会产生新的空位。由于在电场中,由于电荷相反,电子的移动方向和空位的移动方向是相反的,在半导体中,空位和电子共同形成电流。
电流的密度(J)可以有电子的电流密度(Je)和空穴的电流密度(Je)相加。
其中pµh+nµe 是半导体的电导率,E是电场。n和p分别是电子和空穴的浓度,v是迁移速度,µ是迁移率。
载流子浓度随温度的变化有以下公式表示:
计算可以发现,单位摄氏度下,硅的电导率可以升高8%。因此硅也可以用来做热阻器,测量温度。计算可以发现,单位摄氏度下,硅的电导率可以升高8%。因此硅也可以用来做热阻器,测量温度。
温度过高,电导率下降,温度高了载流子浓度也高了,1600度时都快熔化了,,载流子已经充分激发了, 这时电阻率和温度的关系就和金属类似了。
(1)硅的主要来源是石英砂(二氧化硅),硅元素和氧元素通过共价键连接在一起。因此需要将氧元素从二氧化硅中分离出来,换句话说就是要将硅还原出来,采用的方法是将二氧化硅和碳元素(可以用煤、焦炭和木屑等)一起在电弧炉中加热至2100°C左右,这时碳就会将硅还原出来。化学反应方程式为:SiO2 (s) + 2C (s) = Si (s) + 2CO (g)(吸热)
(2)
上一步骤中得到的硅中仍有大约2%的杂质,称为冶金级硅,其纯度与半导体工业要求的相差甚远,因此还需要进一步提纯。方法则是在流化床反应器中混合冶金级硅和氯化氢气体,最后得到沸点仅有31°C的三氯化硅。化学反应方程式为:Si (s) + 3HCl (g) = SiHCl3 (g) + H2 (g)(放热)
(3)
随后将三氯化硅和氢气的混合物蒸馏后再和加热到1100°C的硅棒一起通过气相沉积反应炉中,从而除去氢气,同时析出固态的硅,击碎后便成为块状多晶硅。这样就可以得到纯度为99.9999999%的硅,换句话说,也就是平均十亿个硅原子中才有一个杂质原子。
(4)
进行到目前为止,半导体硅晶体对于芯片制造来说还是太小,因此需要把块状多晶硅放入坩埚内加热到1440°C以再次熔化 。为了防止硅在高温下被氧化,坩埚会被抽成真空并注入惰性气体氩气。之后用纯度99.7%的钨丝悬挂硅晶种探入熔融硅中,晶体成长时,以2~20转/分钟的转速及3~10毫米/分钟的速率缓慢从熔液中拉出:
探入晶体“种子”
长出了所谓的“肩部”
长出了所谓的“身体”
这样一段时间之后就会得到一根纯度极高的硅晶棒,理论上最大直径可达45厘米,最大长度为3米。
以上所简述的硅晶棒制造方法被称为切克劳斯法(Czochralski process,也称为柴氏长晶法),此种方法因成本较低而被广泛采用,除此之外,还有V-布里奇曼法(Vertikalern Bridgman process)和浮动区法(floating zone process)都可以用来制造单晶硅。
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