用四探针法测量金属薄膜电阻率时可能产生误差的根源

四探针方块电阻（又叫薄膜电阻）测试仪是半导体制造中常用的检测仪器之一，用以测量半导体材料的电阻率和薄膜的方块电阻，同时达到测量半导体薄层材料的掺杂浓度和薄膜厚度、控制器件和集成电路性能的目的。

在此基础上发展起来的交流四探针方法，能够消除电接触区的热电势，但它对交流电流源和检测信号的交流放大器稳定性的要求极为严格，且仍存在接触稳定性问题。这些因素造成四探针法对于电阻值的微小变化不敏感，阻碍了仔细分析材料组织结构的微弱变化过程。

四探针测试技术

是用4根等间距配置的探针扎在半导体表面上，由恒流源给外侧的两根探针提供一个适当小的电流I，然后测量出中间两根探针之间的电压V，就可以求出半导体的电阻率。对于厚度为W（远小于长和宽）的薄半导体片，得到电阻率为ρ=ηW(V/I)，式中η是修正系数。

特别，对于直径比探针间距大得多的薄半导体圆片，得到电阻率为ρ= (π/ln2)W(V/I)= 4.532 W(V/I) [Ω-cm]，其中W用cm作单位。

以上内容参考：百度百科-四探针测试技术

物体的表面电阻：电阻大于10的12次方欧姆为绝缘体。大于10的6次方小于10的11次方欧姆为防静电体。大于10的3次方小于10的5次方欧姆为导电体。测试仪器：具有三合一功能的表面电阻测试仪是最理想的仪器，无锡巨旺塑化材料有限公司销售的三合一型表面电阻测试仪就即能测产品表面的电阻，又能测产品的导电性能，还能测产品是否绝缘。详细说明：表面电阻测试仪是通过测量防静电产品表面的电阻，从而检测防静电产品的防静电能力。本仪器遵循ASTM标准D-257测试方法，测试时通过测试底部的两根平行铜电极快捷地测试物体表面的电阻，只需放置在需要测量的物体表面及按下红色按键，仪器上的10个指示灯10Ω-10Ω或绝缘LED灯将根据测试数值亮起。亮起的LED灯所指示数值即为被测物体的表面电阻。技术参数：MeasurementRange（测量范围）10-10Ω（10的3-12欧姆）RelativeHumidity（工作相对湿度）0-90%RHTestvoltage（测试电压）9VSize（外型尺寸）137×76×30mmWeight（重量）120g测试有10个指示灯，当测试仪贴在被测物表面并按下红色按扭后，相应的灯会亮起。3-5为导电性能，6-12为抗静电系数（表面电阻系数），另一个单独灯位是绝缘灯。

正极材料极片电阻率是正极材料的电阻率，首先要知道电池片的厚度、直径、探针间距、测点距边缘的距离、环境温度和电池片的PN结情况；在测量中要知道测量电流，和3探针的电压。就可以知道电阻率是多少。

正极材料极片电阻率测试仪也有很多种，例如高温的或者常温的，不同的正极材料极片电阻率测试仪针对不同的材料测量的参数也是不同的。举例，正极材料极片电阻率测试仪可以测量硅、锗单晶电阻率和硅外延层。

正极材料极片电阻率测定的原因：

因此通过极片电阻的测试，发现极片电阻与锂离子电池电阻之间的对应关系，可以实现对锂离子电池电阻进行预评估。不仅如此，通过极片电阻测试结果，除了可用于匀浆涂布工艺及配方的改进，还能够及时筛选分类并剔除电阻值较大的极片，不使之流入单体制造的工序，提升终端产品品质，实现对材料体系的快速评价。

扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃和其他导电薄膜的方块电阻，主要用于评估半导体薄膜和薄片的导电性能。hrms800高温四探针电阻率测试仪就是，主要测量的参数就是半导体材料的电阻、电阻率、方块电阻等。

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