一,原题解释:
微纳技术是针对制造与处理那些大小处于微米到____级别物体的一种高新技术,可谓“科学绣花针”。
A.飞米
B.纳米
答案:B
二,微纳技术定义
1.微纳制造技术是指尺度为毫米、微米和纳米量级的零件,以及由这些零件构成的部件或系统的设计、加工、组装、集成与应用技术。
2.传统“宏”机械制造技术已不能满足这些“微”机械和“微”系统的高精度制造和装配加工要求,必须研究和应用微纳制造的技术与方法。微纳制造技术是微传感器、微执行器、微结构和功能微纳系统制造的基本手段和重要基础。
三,微纳技术制造
微纳制造包括微制造和纳制造两个方面。
(1)微制造 有两种不同的微制造工艺方式,一种是基于半导体制造工艺的光刻技术、LIGA技术、键合技术、封装技术等
(2)纳制造 纳制造是指具有特定功能的纳米尺度的结构、器件和系统的制造技术,主要分为两种方向,一种以微制造为基础向其制造精度的极限逼近,达到纳米加工的能力,另一种采用新物理效应对纳米量级进行 *** 控制造,纳米制造包括纳米压印技术、刻划技术、原子 *** 纵技术等。
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