产品介绍
宜先VOCs在线监测系统是用于对固定污染源或厂界VOCs 浓度进行实时测定和报警而研发的气体监测系统。VOCs在线监测系统主要由采样单元、分析单元、控制单元、通讯单元等部分组成。其中,分析单元采用基于纳米陶管 PID 技术、带有自动清洗、自动调零功能的TVOCs 分析仪,其传感器寿命,恶劣环境下抗干扰能力,长期稳定性等关键技术指标都。系统还可检测污染源排放口气 体流速、压力、温湿度等多项相关参数,并计算出总 VOCs 的排放速率、排放量等。
系统特点
1.采用基于纳米陶管技术的 PID 传感器,PID 光源寿命长达20000 小时,预期使用寿命大于 5 年
2.检测灵敏、响应迅速,检测浓度可低到 ppb 级别,检测浓度可高达 10000ppm,系统响应时间T90<20 秒
3.大腔体离子室,分析精度更高、抗干扰能力更强
4.系统可同时检测流速、温湿度、压力等环境因子
5.全自动标定、清零、反吹功能,免维护设计
6.提供现场数据查询、报表统计等功能,直观丰富的数据显示
7.提供4-20mA、HART、RS485/MODBUS、以太网、继电器输出等通信接口
8.就地液晶显示和 GPRS/以太网远程通信,监测数据实时上传环保局或用户监测中心
技术参数
检测气体: 挥发性有机物(VOCs)
测量原理: 光致电离(PID)
测量范围: 0-5、10、50、100、500、1000、10000 可选(其他量程可定制)
测量单位: ppm 或 mg/m3
测量误差: ≤±10%或者±5%FS(取大者)
分辨率: 0.01、0.1、1(与量程相关)
检出限(min): 0.05ppm(异丁烯)
重复性: ±3%
响应时间: T90≤20s
量程漂移: ±5%FS
通讯方式: 4~20mA、HART、RS232、RS485、以太网
工作环境: -30~60°C,10~95%RH(无凝结)
供电电源: 220VAC,50Hz
重量: 35kg(依配置有所不同)
气源要求: 异丁烯标准气瓶(自动校准用),压缩空气(0.4~0.8mPa,可选自动吹扫用)
应用领域
应用于环保、市政、石油、化工、冶金、矿山、电力、制药、半导体和装备制造等行业
√ 楼主您好,根据您提出的问题,下面为您做详细解答:
半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。
半导体有机废气处理办法
采用RTO设备处理
RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水,净化废气,并回收废气分解时所释放出来的热量,废气分解效率达到99%以上,热回收效率达到95%以上。
直接燃烧法处理
有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉(TO)→烟囱排气达标排放。
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半导体酸碱废气处理方法
半导体行业酸碱废气处理通常采用液体喷淋法,又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性,可以更好地捕捉沉降,溶解去除污染物,而达到大气排放标准,故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。
半导体有机废气处理方法
半导体行业有机废气处理方法,通常先用沸石转轮对VOCs进行吸附浓缩之后,再用直接燃烧法进行销毁,废气净化率达到97%以上。
直接燃烧又称为直接火焰燃烧,它是把VOCs可燃组分直接烧掉,因此该方法适用于净化可燃有害组分浓度较高的废气,或者净化有害组分燃烧时热值较高的废气;多种可燃气体或多种溶剂蒸气混合在废气中,只要浓度值适宜,也可以直接燃烧。如果可燃组分的浓度高于燃烧上限,可以混入空气后燃烧;如果可燃组分的浓度低于燃烧下限,则可以加入一定数量的辅助燃料如天然气等,维持燃烧。
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