怎么测量半导体薄膜的电阻率

测量半导体电阻率的方法很多，按是否与样品接触可以分为两类，即接触式和非接触式。常用的电阻率测量方法有直接法、二探针法、三探针法、四探针法、多探针阵列、扩展电阻法、霍尔测量、涡流法、微波法、电容耦合C-V测量等。对于体单晶的电阻率测量，生产中应用最普遍的是四探针法；对于半导体晶片的电阻率测量，微波法等非接触式测量方法由于使用方便、不损坏样品，因而应用也越来越多。

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物体的表面电阻：电阻大于10的12次方欧姆为绝缘体。大于10的6次方小于10的11次方欧姆为防静电体。大于10的3次方小于10的5次方欧姆为导电体。测试仪器：具有三合一功能的表面电阻测试仪是最理想的仪器，无锡巨旺塑化材料有限公司销售的三合一型表面电阻测试仪就即能测产品表面的电阻，又能测产品的导电性能，还能测产品是否绝缘。详细说明：表面电阻测试仪是通过测量防静电产品表面的电阻，从而检测防静电产品的防静电能力。本仪器遵循ASTM标准D-257测试方法，测试时通过测试底部的两根平行铜电极快捷地测试物体表面的电阻，只需放置在需要测量的物体表面及按下红色按键，仪器上的10个指示灯10Ω-10Ω或绝缘LED灯将根据测试数值亮起。亮起的LED灯所指示数值即为被测物体的表面电阻。技术参数：MeasurementRange（测量范围）10-10Ω（10的3-12欧姆）RelativeHumidity（工作相对湿度）0-90%RHTestvoltage（测试电压）9VSize（外型尺寸）137×76×30mmWeight（重量）120g测试有10个指示灯，当测试仪贴在被测物表面并按下红色按扭后，相应的灯会亮起。3-5为导电性能，6-12为抗静电系数（表面电阻系数），另一个单独灯位是绝缘灯。

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