硅烷泄漏,你该怎么办

硅烷泄漏时会自燃的，火焰温度不是很高。好像700度左右。如果能关闭就关闭，不能关闭就用水淋周边，以防温度过高。硅烷本身毒性不高，自燃产生的SiO2粉尘。我在广州世源气体生产硅烷时经常接触。

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生产线事故，伤人事故生产线的事故原因有很多，比如突然断电，正在光刻的晶圆基本上就报废了，什么涂胶的，腐蚀的全都报废。而且生产线只要一停，每分钟的损失都是剧额的，尤其是光刻机。为了曝光稳定，基本从买来到报废都不能关机和断电，中途停下来再开始很多参数就变了伤人事故一般是有毒气体或者易燃易爆气体泄漏引起的爆炸和中毒，什么硅烷，砷化氢，基本上所有用于化学气相沉积CVD的气体都不是什么好东西

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