氮气柜流量

5-25L/M或5-60L/m。根据不同容积的机柜大小，氮气流量计可分为5-25L/M或5-60L/m。氮气柜为氧浓度监控型氮气保护储物柜，适用于半导体器件工艺生产过程中存放成品、半成品、原材料及器具等。

没有固定的用量，用量是与设定值及开门的次数和时间有关。

根据氮气柜的工作原理，所以说智能氮气柜的氮气消耗量是与环境湿度值，用户的设定值及开门的次数和时间有关，与氮气流量计的大小无关，流量计的大小仅仅决定柜内实际的湿度达到设定值所消耗的时间长短有关。

氮气柜：不锈钢氮气柜设备根据应用要求，可配置不同的控制功能。被广泛应用在微电子，半导体等行业。有普通型氮气柜、控制型氮气柜、透明氮气柜三种。

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