特种的气体,用于半导体的高纯度气体(或者叫电子气体)是一种生产半导体、液晶、太阳能电池等各种电子产品时使用的特殊的高纯度气体。从大的方面来说,有用于制作半导体配线的气体材料、用于蚀刻(进行半导体细微加工工程)、用于生产设备清洁工艺的气体。
比方说,三氟化氮是被广泛应用于生产设备的清洁气体(Cleaning Gas),六氟化钨是作为半导体的钨配线材料,其需求正急剧上升。
作为NAND(非挥发性存储半导体)、DRAM(挥发性存储半导体)等存储半导体的蚀刻气体(Etching Gas),氯气、溴化银、氟甲烷、四氟化碳、八氟环丁烷、六氟丁二烯等的需求正在增长。
扩展资料
电子特气是集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产中不可缺少的基础和支撑性材料,被广泛应用于薄膜、掺杂、腔室清洗、光刻、刻蚀、清洗、载气、保护气等工艺。2018年电子特气在半导体前道制造所需材料中占比高达18%。
中国电子特气的发展对我国半导体芯片产业的发展起着至关重要的作用,也直接关系到国民经济发展和国家战略安全。
日韩贸易摩擦把半导体材料对一个国家的重要性体现得淋漓尽致,仅仅高纯度氟化氢,光刻胶和氟化聚酰亚胺三种产品就能对整个韩国国民经济构成严重影响。日韩半导体材料事件也为国内半导体产业敲响了警钟,未来半导体材料的国产化进程将会加速。
参考资料来源:百度百科-电子特气
半导体制造分不同等级,不同等级对电压有不同要求。半导体芯片基本分为商业级、工业级、车规级、军工级。最常见的是商业级就是手机类消费电子产品,通常电压都是里伏特。而像工业级、车规级电压会大很多,车规级几十伏特电压,军工级更复杂。在中国标准分类中,半导体芯片涉及到半导体分立器件综合、半导体发光器件、微电路综合、半导体二极管、微波、毫米波二、三极管、光通信设备、半导体集成电路、标准化、质量管理、电工仪器、仪表综合、元素半导体材料。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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