光刻版灰尘不小心用手碰到了怎么清洗

比较常见的方法是通过有机溶剂将其溶解的方法将其去除，例如利用丙酮浸泡光亥刻版，在浸泡的同时可以超声提高浸泡效果。

光刻板清洗工艺：

光刻胶及其他有机污染物的去除，对于比较干净的光刻版，浸泡基本就能将有机污染物去除干净。对于光刻胶较多的光刻版，浸泡只能将光刻胶泡软，还需要用无尘布或无尘棉蘸丙酮轻轻擦洗，或在光刻版清洗设备中采用毛刷刷洗，通过外力将顽固的光刻胶去除掉。

毛刷刷洗光刻版匀速旋转，喷嘴向光刻版表面喷洒丙酮等化学液，使得光刻胶由于溶解而变得松软，然后毛刷接触到光刻板表面，光刻板旋转时与毛刷产生相对运动，辅以喷嘴喷出的化学液，对光刻版表面起到刷洗作用。

刷洗完成后，通常采用高压 DI 水冲洗光刻版，通过高压微细水滴的冲击力去除仍然吸附在光刻版表面的剩余光刻胶。

基本信息：

光掩膜是刻有微电路的版，光刻版，由表面纯平并带有一层铬的石英板或玻璃板制作而成，蚀刻后的残留铬部分即为设计的微电图。这种制版方式在掩膜行业称为光透。

半导体集成电路制作过程通常需要经过多次光刻袭工艺，在半导体晶体表面的介质层上开凿各种掺杂窗口、电*接触孔或在导电层上刻蚀金属互连图形。光刻工艺需要一整套（几块zhidao多至十几块）相互间能套准的、具有特定几何图形的光复印掩蔽模版。

本人是半导体工艺工程师

采用无尘空间，以及工人穿净化服是为了保证工作环境的颗粒以及温度，湿度达标，任何的颗粒以及温度湿度的不达标都有可能影响制造器件的工作性能以及可靠性

很负责任地告诉你部分工种是有辐射的！

最严重的事离子注入（半年体检一次，别的工种1年体检一次），因为有有害离子激发

光刻其实就和印照片的地方一样，黄光区域也有一定辐射

其他部门稍微轻微，但是制造厂里一般设备摆放比较密集，有些辐射你即使不在此部门工作也有可能受到，当然很轻微，所以净化服也有一定的防辐射作用，一般来说工作的安全还是可以得到保障的

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

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