请问制作半导体的工厂有毒吗?

请问制作半导体的工厂有毒吗?,第1张

这个问题比较笼统,半导体生产包括很多道工序,目前大体分为3大块:单晶硅片(衬底)制作;wafer加工和封装测试。这个其中还没有包括光刻掩膜版制作。我是在半导体公司前道(wafer fab)和后道(assembly &Test)都工作过,对光刻掩膜版和衬底制作的工艺也知道一点点,所以发表一下愚见。

1. 单晶硅片(衬底)制作工程:无毒,但是在把硅柱切割成硅片的时候,会有很多硅尘出现,如果长期在切割部门工作,比如说工作10年以上,很容易得一种叫做硅肺的病。

2.Wafer FAB:大量存在一些有毒和易爆的物质,如果磷,砷,氯气(有毒)和甲烷,氢气(易爆),还有以下腐蚀性很强的物质,比如HF,浓硫酸等等。但是目前的fab对于这些物品的控制是十分严格的,不会想gendanzhu说的那样恐怖。这就是,那些能看到的危险根本就不是危险,人总是想尽一切办法去控制它。倒是我们生病的吃穿住行的东西,可能在慢慢影响我们的健康,而我们却不知道。FAB里最大的问题有两个:一个是对环境的污染比较严重,所以处理废水废气比较麻烦。希望中国的fab都能做到绿色环保;还有一个是辐射,大型的离子加速产生强大的辐射,对于做工艺的人员来说问题不大,有很厚的钢板挡在机器前面,主要是设备工程师或者技术员,一定要注意辐射对健康的影响。

3.封装测试厂:封测主要是与机械有关系,所以有毒的东西比较少,主要是plating工艺会对环境污染比较严重,现在我所在的公司都是把这道工序外包给其他公司来做的。

总之,我在半导体公司工作,感觉没有外边传言的那么恐怖。

具体情况要具体分析。半导体厂一般会有有毒有害的物质,但不等于一定会有,也不等于每个设备都有。重点要看你所维修的设备是什么。一般的MOCVD是有毒的。另外,就是维修过程一定要注意自我防护,规定穿戴防毒面具的一定不要省略,一般应带橡胶手套。经验上处理腐蚀性物质时,带双层手套。至于辐射呢,一般没有电离辐射,电磁辐射多出现在有等离子体的设备上(比如磁控溅射,ICP刻蚀,PECVD等等)。最后说说我身边的经验。1、我们这有个学生,因为害怕有毒物质,坚决拒不遵守导师要求,拒不做实验。结果一年后,体检血砷含量,全实验室都没问题,就她自己砷超标。这个事情说明,接触砷等有害物质,并非仅仅通过正常的实验和工作。而正常的工作中严格防护也是非常安全的。2、我们这有的导师,经常维修MOCVD设备,接触有毒的管路,但他本人从不注意防护,这么多年过去了也没啥事儿啊。说明:设备带有有毒粉末并不可怕,粉末状的毒物如三氧化二砷,其危险性已经较低了(比起砷烷类气态化合物)。同时,砷烷等危险品是有气瓶保护的,外面还有毒气柜,还有一堆报警设备。这个要是泄漏了,第一时间跑就是了。反正报警的阈值非常低,报警后再跑来得及的……3、都说辐射如何有害,影响男性生殖。但是事实是本人维修使用磁控溅射多年了。现在也有了小孩。没啥事儿啊。同事中结婚的打算要孩子的都成功了……男性功能和这个关系不大,精子活性普遍降低的影响更大,和60年代DDT使用、环境污染,现在生活压力大等等的关系更大些。综上,工作中注意保护,严格遵守安全制度(别管它都么的麻烦,别人多麽的不遵守),就是安全的。出危险的概率比起回家途中被车撞死要低多了……祝你工作顺利愉快。

重点看怎么加工了,具体是那个步骤。

在正规的工厂,加工砷化镓的设备一般都有严格的保护,所以相当安全。而且有危险的工种应该定期体检血砷含量。

另一方面,砷化镓比较稳定,只要你不吃就没什么问题。


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