2018年，BOE（京东方）新增专利申请量9585件，其中发明专利超90%，累计可使用专利超7万件，覆盖美国、欧洲、日本、韩国等国家和地区。美国商业专利数据显示，2018年BOE（京东方）美国专利授权量全球排名第17位，成为美国IFI Claims TOP20中增速最快的企业。
近期，BOE（京东方）在北京举办BOE（京东方）2018年度创新成果展，展出系列柔性AMOLED显示产品、超高清显示系统解决方案、传感器及解决方案、BOE 画屏、物联网解决方案、移动 健康 管理、智慧 健康 服务等DSH三大事业板块的创新技术、应用和产品。
一、前瞻技术展区
BOE（京东方）秉持“技术领先、全球首发、价值共创”的理念，坚持自主创新，搭建企业为主体、市场为导向、产学研结合的技术创新体系。该体系设置分级架构，开展短、中、长远的协同创新，确保技术和产品的前瞻性和领先性。
亮点产品：
1.波导透明显示：
波导透明显示是一种透过率很高的显示技术（>80%），与传统液晶显示相比，该技术基于波导全反射实现导光，通过散射的方式实现显示，不需要导光板、偏光片与彩膜，从而实现高透过率。聚合物稳定液晶材料体系响应时间小于2毫秒，支持180Hz高频刷新，结合场序式彩色技术实现全彩显示。与现有透明显示技术相比，波导透明显示在透过率、成本方面有相当优势，该技术潜在应用场景包括智能家居、移动终端、车载显示、橱窗展示等。
2.dPCR（数字聚合酶链式反应）分子诊断系统：
dPCR分子诊断系统主要通过对DNA分子进行检测，主要用于癌症早诊、产前诊断、食品安全检测等。BOE（京东方）的dPCR分子诊断系统采用集成化数字微流控芯片，集进样、封闭、控温扩增于一体，控温精度达到0.25 ℃，且更加小型化、便携化；产品采用玻璃基阵列腔室方案，在小片玻璃基芯片上拥有超过100000个反应单元，实现DNA检测的绝对定量，解决了参照物难以寻找及检测不准确等问题；采用自主知识产权的填装技术及驱动单元，完成检测所需的30个循环仅需35分钟。产品具有集成化，自动化，高效率、高精度等优点。
二、显示与传感器件展区
在半导体显示领域，BOE（京东方）TFT-LCD、OLED、柔性显示、微显示等新型显示器件及传感器件，可为智能手机、平板电脑、笔记本电脑、显示器、电视、车载、医疗、拼接（DID）、VR/AR、穿戴等创新应用领域提供优质高效的产品和服务。BOE（京东方）拥有14条半导体显示生产线（其中3条在建），其中包括全球首条第10.5代TFT-LCD生产线以及全球领先的第6代柔性AMOLED生产线，是中国唯一能够自主研发、生产和制造最大至150英寸的全系列半导体显示产品的企业。
根据群智咨询（Sigmaintell）数据显示，BOE（京东方）2018年全球液晶电视面板出货量排名第一，出货量同比增长24%，出货面积同比增长45%，在全球前五大面板厂中增幅均领先。2018年，BOE（京东方）投建的全球首条第10.5代TFT-LCD生产线顺利量产爬坡，电视面板产能同比增长40%以上。预计2018年BOE（京东方）液晶显示屏总出货量仍将位居全球第一。
亮点产品：
1、27英寸超高清Mini-LED HDR
BOE（京东方）拥有业内领先的Mini-LED HDR解决方案，可实现1000000:1对比度。该产品搭配京东方业界领先的高色域膜片解决方案，色域可达到NTSC 100%。
2、6.4英寸全面屏 Camera Hole
据市场调研机构IHS预计，打孔屏将是2019年智能手机屏幕形态最重要的发展趋势。BOE（京东方）6.4英寸全面屏 Camera Hole屏占比高达94%，采用盲孔屏解决方案，盲孔屏下集成摄像头模组方案设计，不需要在屏幕上完全钻出物理孔，只需在背光层和偏光片层打孔。这种结构可以跳过面板钻孔工艺，使良率较通孔方案大大提升，可有效降低成本，提升产品信赖性。
3、12.3英寸FHD 驾驶员监视器
产品采用AI算法，使用单个镜头感测驾驶员的多项参数，包括计算头部位置和方向、瞳孔扩张、开眼幅度、眼睛注视方向等，并通过准确计算，正确掌握驾驶员的状态，减少交通意外发生，提高驾驶安全度。
三、传感器及解决方案展区
BOE（京东方）经过在半导体显示领域的多年耕耘，积累了丰富的半导体产业经验，多个核心技术可应用于传感产业。传感器及解决方案可为医院检测、家用检测、通讯与交通、智慧家居等应用场景，提供X-Ray平板探测器、微流控芯片、智慧视窗、分子天线、家居安防等产品和系统解决方案。
亮点产品：
1、4317全尺寸脊椎平板探测器件
全球首发最大尺寸平板探测器，长43英寸，宽17英寸，采用BOE（京东方）特有的拼接曝光工艺制程，支持全身扫描，只需一次性拍摄，就可获取完整人体脊柱图像，避免病者接触X射线剂量累加，大幅降低人体辐射伤害。
2、有源数字微流控芯片
BOE（京东方）首款有源数字微流控产品，通过扫描信号控制有源TFT阵列电极，实现对万级液滴量的产生、运输、混合、分离等 *** 控；采用业界领先的TFT加工工艺，形成有源微电极阵列；集成PIN Sensor，可实时检测液滴位置及透光度等特性。可应用于生物、化学、医疗等领域中对样品的处理、分析、培养等。
四、IoT解决方案展区
BOE（京东方）以终端智能、系统集成、云计算为支撑技术，为智慧零售、智慧金融、商务办公、智慧教育、数字医院、智慧能源、智慧交通和智慧家居等八大细分领域提供全球领先的系统集成解决方案。
亮点产品：
1.云屏信发系统
该系统由BOE（京东方）自主研发，可轻松部署并支持一键接入多个终端、多种媒体格式及小应用扩展，交互内容丰富；同时能快速在线编辑，为客户提供运营数据支持及各行业广告模版，播放内容经过审核，用户可自主管理内容，设备可远程监控安全信息，实现了大数据推送及设备监控一体化以及大数据可视化。
2.AI数字标牌
该产品由BOE（京东方）自主研发，具有独特的ID设计，可兼容Windows及Android平台，采用人脸识别边缘算法，对人脸属性进行提取，并配备3D摄像头实现刷脸支付，可以配合云屏信发系统进行广告信息推送，是一台集自助服务、广告推广双重身份的机器。
五、数字艺术展区
BOE（京东方）推出数字艺术物联网产品——BOE画屏，将绘画与影像等艺术品数字化，集艺术展示、欣赏和交易于一体，配以强大的APP应用和云端数据库，让消费者足不出户就可尽赏世界艺术佳作，实现了 科技 与艺术的完美结合。
亮点产品：
目前，BOE画屏已发布其第二代产品S2，S2在对画框、内衬、电源线材等外观进行升级的同时，也采用AI语音功能，让BOE画屏具备艺术、音乐、影讯、故事、天气和百科六大功能，实现使用者与BOE画屏之间更自由的交互。
六、移动 健康 管理展区
BOE（京东方）已推出移动 健康 管理平台，通过智能终端进行 健康 数据检测，基于人工智能和大数据算法，为用户提供生命体征数据监测解读、AI疾病风险预测、专家 健康 课程以及在线问诊、体检挂号等就医服务，让用户足不出户即可享受个性化的家庭 健康 管理服务。
亮点产品：
1、动态心电记录仪
在心血管慢病领域，BOE（京东方）推出一款医疗级产品——动态心电记录仪，可用于采集心电波形。轻巧便携，蓝牙传输，在线即可远程获得医生判读结果，及时发现心电异常。赋能基层，助力早日迎来心脏事件下降拐点。
经过简单培训，可实现1分钟非医疗人士轻松佩戴，2分钟心电图的判读响应，24小时全天候服务，危急状况主动联络。可满足社区、诊所、家庭医生等不同类别诊疗需求，是胸痛中心全国心电一张网指定可穿戴心电设备，国家 科技 部重点研发项目入选设备。
此外，在睡眠、母婴、运动等 健康 管理领域，BOE（京东方）强化生态链整合，严选智能睡眠仪、智能体脂秤等多款产品，为个人和家庭用户提供 健康 生活一站式解决方案。
2、移动 健康 APP3.0
除检测类硬件之外，BOE（京东方）还推出一款个人和家庭客户使用的软件BOE移动 健康 APP。通过物联网和人工智能技术，连接多款家庭检测终端设备，实时监测和智能解读各项生命体征数据，并提供 健康 服务包、在线问诊和转诊服务，用智慧 科技 守护家庭 健康 ，真正实现 科技 让 健康 触手可及。
七、智慧 健康 服务展区
BOE（京东方）以 健康 人工智能与大数据技术平台和医工融合转化平台为依托，重点打造数字人体、细胞膜片、AI全科医生系统、骨科手术机器人等系列产品，支撑数字人体、数字医院、再生医学、解决方案四大板块，未来主要服务于数字医院、智能诊所两大应用场景。
亮点产品：
1、智能诊所
BOE（京东方）智能诊所包含AI全科医生系统、智能诊所信息化系统等。AI全科医生系统利用自然语言处理技术与知识图谱技术打造智能辅助诊断系统，以对话的方式同患者或医生进行交互，依据患者或医生提供的信息和知识图谱中的知识进行推理，从而实现智能诊断。
智能诊所信息化系统以AI医生为信息系统核心，辅助医生诊疗，将体征检测设备、数据与系统无缝衔接，并使用BOE显示屏进行诊疗及检测数据的展示，全方位医患交互。采用互联网技术将支付、转诊、审方等环节在线上完成，并接入智能药柜以便患者快速取药，相比传统医疗机构，节约患者大量时间。通过移动端平台，使患者远程挂号、咨询，并可随时查看 健康 档案。
BOE（京东方）智能诊所致力于打造“医疗+AI+互联网+金融”四位一体创新模式，提高基层医疗服务水平，解决中国初级诊疗体系能力不足问题。
2、骨科手术机器人
BOE（京东方）骨科手术机器人是全球首款多功能骨科手术机器人，利用光学导航、人工智能、医学影像、智能交互及语音 *** 控等关键技术，可完成骨折复位、脊柱定位、关节置换手术，同时可胜任医生助手的工作。专用C型臂采用独特设计其性能远超传统C，在同等图片效果的情况下有效地减少了射线剂量，显著降低射线给医生和患者带来的伤害。可实现手术的可视化、数字化、远程及语音控制，医生免辐射、精准度高、稳定性好。
前些天，我国本土半导体设备传来好消息，中微半导体设备（上海）有限公司自主研制的5nm等离子体刻蚀机经台积电验证，性能优良，将用于全球首条5nm制程生产线。刻蚀机是芯片制造的关键装备之一，中微突破关键核心技术，让“中国制造”跻身刻蚀机国际第一梯队。
近年来，我国大陆半导体设备企业一直在努力追赶国际先进脚步。在多种设备领域有一定突破，除了上述中微半导体的5nm等离子体刻蚀机之外，有越来越多的产品可应用于14nm、7nm制程。
但是，国内设备与国外先进设备相比仍有较大差距，主要表现在两方面：一是有一定竞争力的产品在领先制程上的差距；二是部分产品完全没有竞争能力或尚未布局，比如国内光刻机落后许多代际，仅能达到90nm的光刻要求，国内探针台也处于研发阶段，尚未实现销售收入。
那么，在国家的扶持下，经过这么多年的发展，我国本土半导体设备各个细分领域的发展情况如何呢？相关企业都有哪些？发展到了什么程度呢？下面就来梳理一下。
北方华创
北方华创由七星电子和北方微电子战略重组而成。七星甴子主营清洗机、氧化炉、 气体质量控制器(MFC)等半导体装备及精密甴子元器件等业务，此外七星甴子还是国内真空设备、 新能源锂甴装备重要供应商。北方微甴子主营刻蚀设备(Etch)、物理气相沉积设备(PVD)、化学气相沉积设备(CVD)三类设备。
2010 年 3 月，七星甴子在深交所上市。 2016 年 8 月，七星甴子与北方微甴子实现战略重组，成为中国规模最大、产品体系最丰富、涉及领域最广的高端半导体工艺设备供应商，开成功引迚国家集成甴路产业基金(大基金)等战略投资者，实现了产业与资本的融合。 公司实际控制人是北京甴控，隶属于国资委。
2017 年 2 月，七星甴子正式更名为北方华创 科技 集团股仹有限公司，完成了内部整合，推出全新品牉“北方华创”，开形成了半导体装备、真空装备、新能源锂甴装备和高精密甴子元器件四大业务板块加集团总部的“4+1”经营管理模式。
北方华创的半导体装备亊业群主要包括刻蚀机、 PVD、 CVD、氧化炉、扩散炉、清洗机及质量流量控制器(MFC)等 7 大类半导体设备及零部件，面向集成甴路、先进封装等 8 个应用领域，涵盖了半导体生产前段工艺制程中的除光刻机外的大部分兲键装备。 客户包括中芯国际、华力微甴子、长江存储等国内一线半导体制造企业，以及长甴 科技 、 晶斱 科技 、华天 科技 等半导体封装厂商。
重组之后，北方华创业绩快速增长。2017 年实现营业收入 22.23 亿元，同比增长37.01%，归母净利润 1.26 亿元，同比增长 35.21%。 根据公司 2018 年半年报业绩快报，2018 年上半年公司实现营业收入13.95 亿元，同比增长 33.44%， 归母净利润 1.19 亿元，同比增长 125.44%。 随着下游晶圆厂投资加速， 公司半导体设备等觃模持续扩张。
长川 科技
长川 科技 是国内集成电路封装测试、晶圆制造及芯片设计环节测试设备主要供应商。 半导体测试设备主要包括分选机、 测试机和探针台三大类。自2008年4月成立以来，该公司率先实现了半导体测试设备（分选机和测试机） 的国产化， 并获得国内外众多一流集成电路企业的使用和认可。
该公司于 2012 年 2 月承担并完成国家“十二五”规划重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”中的高端封装设备与材料应用工程项目，并于 2015 年 3 月获得国家集成电路产业基金投资。
该公司的测试机和分选机在核心性能指标上已达到国内领先、接近国外先进水平，同时售价低于国外同类型号产品，具备较高的性价比优势。 公司产品已进入国内主流封测企业， 如天水华天、 长电 科技 、 杭州士兰微、 通富微电等。 2017 年，该公司对外积极开拓市场， 设立台湾办事处，拓展台湾市场。
2013~2017年，长川 科技 营收实现了由 4,341 万元到 1.80 亿元的跨越，复合增速达39.75%。 2017 年，归属母公司净利润由992万元增长至 5,025 万元， 复合增速达31.48%。
中微半导体
中微半导体成立于 2004 年，是一家微加工高端设备公司， 经营范围包括研发薄膜制造设备和等离子体刻蚀设备、大面积显示屏设备等。该公司管理层技术底蕴深厚，大多有任职于应用材料、LAM和英特尔等全球半导体一流企业的经验。
中微半导体先后承担并圆满完成 65-45 纳米、 32-22 纳米、22-14 纳米等三项等离子介质刻蚀设备产品研制和产业化。 公司自主研发的等离子体刻蚀设备 Primo D-RIE 可用于加工 64/45/28 纳米氧化硅、氮化硅等电介质材料，介质刻蚀设备 Primo AD-RIE 可用于 22nm 及以下芯片加工，均已进入国内先进产线。中微半导体的介质刻蚀机已经完成了5nm 的生产。
晶盛机电
晶盛机电是一家专业从事半导体、光伏设备研发及制造的高新技术企业，是国内技术领先的晶体硅生长设备供应商。该公司专注于拥有自主品牌的晶体硅生长设备及其控制系统的研发、制造和销售，先后开发出拥有完全自主知识产权的直拉式全自动晶体生长炉、铸锭多晶炉产品。
该公司立足于“提高光电转化效率、降低发电成本”的光伏技术路线，实现了硅晶体生长“全自动、高性能、高效率、低能耗”国内领先、国际先进的技术优势。全自动单晶炉系列产品和 JSH800 型气致冷多晶炉产品分别被四部委评为国家重点新产品。同时公司积极向光伏产业链装备进行延伸，2015 年成功开发并销售了新一代单晶棒切磨复合一体机、单晶硅棒截断机、多晶硅块研磨一体机、多晶硅块截断机等多种智能化装备，并布局高效光伏电池装备和组件装备的研发。
该公司的晶体生长设备特别是单晶硅生长炉销售形势较好，主要是单晶光伏的技术路线获得认可，随着下游厂商的扩产，单晶的渗透率也逐步提升，带来对单晶硅生长炉的需求增加，该类产品收入已经占营业收入的 81%。
该公司主营业务伴随国内光伏产业的上升发展，给主营业务收入和利润带来显着增长，近两年的增长率均在 80%以上，另外，其毛利率水平和净利率水平也基本维持稳定。
上海微电子
上海微电子装备有限公司成立于2002年，主要致力于大规模工业生产的投影光刻机研发、生产、销售与服务，该公司产品可广泛应用于IC制造与先进封装、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED等制造领域。
该公司主要产品包括：
600扫描光刻机系列—前道IC制造
基于先进的扫描光刻机平台技术，提供覆盖前道IC制造90nm节点以上大规模生产所需，包含90nm、130nm和280nm等不同分辨率节点要求的ArF、KrF及i-line步进扫描投影光刻机。该系列光刻机可兼容200mm和300mm硅片。
500步进光刻机系列—后道IC、MEMS制造
基于先进的步进光刻机平台技术，提供覆盖后道IC封装、MEMS/NEMS制造的步进投影光刻机。该系列光刻机采用高功率汞灯的ghi线作为曝光光源，其先进的逐场调焦调平技术对薄胶和厚胶工艺，以及TSV-3D结构等具有良好的自动适应性，并通过采用具有专利的图像智能识别技术，无需专门设计特殊对准标记。该系列设备具有高分辨率、高套刻精度和高生产率等一系列优点，可满足用户对设备高性能、高可靠性、低使用成本(COO)的生产需求。
200光刻机系列—AM-OLED显示屏制造
200系列投影光刻机综合采用先进的步进光刻机平台技术和扫描光刻机平台技术，专用于新一代AM-OLED显示屏的TFT电路制造。该系列光刻机不仅可用于基板尺寸为200mm × 200mm的工艺研发线，也可用于基板尺寸为G2.5(370mm × 470mm)和G4.5(730mm × 920mm)的AM-OLED显示屏量产线。
硅片边缘曝光机系列——芯片级封装工艺应用
SMEE开发的硅片边缘曝光机提供了满足芯片级封装工艺中对硅片边缘进行去胶处理的能力，设备可按照客户要求配置边缘曝光宽度、硅片物料接口形式、曝光工位等不同形式。设备同时兼容150mm、200mm和300mm等三种不同规格的硅片，边缘曝光精度可到达0.1mm。设备配置了高功率光源，具有较高的硅片面照度，提高了设备产率。
至纯 科技
至纯 科技 成立于 2000 年， 主要为电子、生物医药及食品饮料等行业的先进制造业企业提供高纯工艺系统的整体解决方案， 产品为高纯工艺设备和以设备组成的高纯工艺系统，覆盖设计、加工制造、安装以及配套工程、检测、厂务托管、标定和维护保养等增值服务。
该公司在 2016年前产品约一半收入来自医药类行业，光伏、 LED 行业及半导体行业收入占比较小。 2016年以来，公司抓住半导体产业的发展机遇，逐步扩大其产品在半导体领域的销售占比， 2016和 2017 年来自半导体领域收入占公司营业收入比重分别为 50%和 57%，占据公司营业收入半壁江山。主攻半导体清洗设备。
该公司于 2015 年开始启动湿法工艺装备研发， 2016 年成立院士工作站， 2017 年成立独立的半导体湿法事业部至微半导体，目前已经形成了 UltronB200 和 Ultron B300 的槽式湿法清洗设备和 Ultron S200 和 Ultron S300 的单片式湿法清洗设备产品系列， 并取得 6 台的批量订单。
精测电子
武汉精测电子技术股份有限公司创立于 2006 年 4 月，并于 2016 年 11 月在创业板上市。公司主要从事平板显示检测系统的研发、生产与销售，在国内平板显示测试领域处于绝对领先地位， 主营产品包括：模组检测系统、面板检测系统、OLED 检测系统、AOI光学检测系统和平板显示自动化设备。近几年来，该公司积极对外投资，设立多家子公司，业务规模迅速扩张，进一步完善了产业布局。
该公司成立初期主要专注于基于电讯技术的信号检测，是国内较早开发出适用于液晶模组生产线的 3D 检测、基于 DP 接口的液晶模组生产线的检测和液晶模组生产线的 Wi-Fi 全无线检测产品的企业，目前该公司的 Module 制程检测系统的产品技术已处于行业领先水平。
2014 年，精测电子积极研发 AOI 光学检测系统和平板显示自动化设备，引进了宏濑光电和台湾光达关于 AOI 光学检测系统和平板显示自动化设备相关的专利等知识产权，使其在 Array制程和 Cell 制程的检测形成自有技术，初步形成了“光、机、电”技术一体化的优势。
精测电子2018年上半年财务报告显示，该公司收入主要来自 AOI 光学检测系统业务，占比 45.49%，毛利占比 41.94%；其次是模组检测系统业务，收入占比 23.33%，毛利占比 27.68%； OLED 检测系统和平面显示自动化设备收入占比分别为 14.29%和12.30%，毛利占比为 14.26%和 10.28%。
电子 科技 集团45所
中国电子 科技 集团公司第45研究所创立于1958年，2010年9月，中央机构编制委员会办公室批准45所第一名称更改为“北京半导体专用设备研究所”，第二名称仍保持“中国电子 科技 集团公司第四十五研究所”不变。
45所是国内专门从事军工电子元器件关键工艺设备技术、设备整机系统以及设备应用工艺研究开发和生产制造的国家重点军工科研生产单位。
45所以光学细微加工和精密机械与系统自动化为专业方向，以机器视觉技术、运动控制技术、精密运动工作台与物料传输系统技术、精密零部件设计优化与高效制造技术、设备应用工艺研究与物化技术、整机系统集成技术等六大共性关键技术为支撑，围绕集成电路制造设备、半导体照明器件制造设备、光伏电池制造设备、光电组件制造和系统集成与服务等五个重点技术领域，开发出了电子材料加工设备、芯片制造设备、光/声/电检测设备、化学处理设备、先进封装设备、电子图形印刷设备、晶体元器件和光伏电池等八大类工艺设备和产品，服务于集成电路、光电元器件与组件、半导体照明和太阳能光伏电池四大行业.
上海睿励
睿励科学仪器（上海）有限公司是于2005年创建的合资公司，致力于研发、生产和销售具有自主知识产权的集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备。主要生产用于65/28/14nm制程工艺控制的膜厚测量设备。
沈阳芯源
沈阳芯源微电子设备有限公司成立于2002年，由中科院沈阳自动化研究所引进国外先进技术投资创建。
芯源公司自主开发的单片匀胶机、显影机、喷胶机、去胶机、清洗机、湿法刻蚀机等设备广泛应用于半导体、先进封装、MEMS、LED等领域。
1.LED领域匀胶显影机：应用于LED芯片制造、PSS（图形化衬底）、MEMS、HCPV（高聚光型太阳能电池）、Waveguide（光波导）工艺的匀胶显影等工艺制程。
2.高端封装全自动涂胶显影机:广泛应用于先进封装BGA、Flip-Chip、WSP、CSP制程的高黏度PR、PI、Epoxy的涂敷、显影工艺制程。
3.高端封装全自动喷雾式涂胶机: 广泛应用于TSV、MEMS、WLP等工艺制程。
4.单片湿法刻蚀机/去胶机/清洗机:广泛应用于先进封装BGA、Flip-Chip、WSP、CSP制程的刻蚀、去胶、清洗工艺制程。
5.前道堆叠式全自动涂胶显影机：应用于90nm光刻工艺、BARC涂覆、SOC、SOD、SOG等工艺制程。
盛美半导体
盛美半导体（ACM Research）是国内半导体清洗设备主要供应商，于1998年在美国硅谷成立，主要研发电抛光技术，2006 年成立上海子公司，专注于半导体清洗设备。2017年11月4日公司在美国纳斯达克上市。2017年公司营业收入3650万美元，同比增长33.2%，其中90%以上的营业收入来自于半导体清洗设备。2017 年研发投入占营业收入比例为14.1%。
由于声波清洗可能会造成晶片损伤，行业公司大多转向研发其他技术，盛美半导体另辟蹊径研发出空间交变相移兆声波清洗（SAPS）和时序能激气泡震荡兆声波清洗（TEBO）两项专利技术，可以实现无伤清洗。公司的清洗设备目前已经进入 SK 海力士、长江存储和上海华力等先进产线。
天津华海清科
天津华海清科机电 科技 有限公司成立于2013年，是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家战略，为推动我国化学机械抛光（CMP）技术和设备产业化成立的高 科技 企业。
华海清科主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务，核心团队成员来自清华大学摩擦学国家重点实验室及业内专业人才，产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。
中电科装备
中电科电子装备集团有限公司成立于2013年，是在中国电子 科技 集团公司2所、45所、48所基础上组建成立的二级成员单位，属中国电子 科技 集团公司独资公司，注册资金21亿元，该公司是我国以集成电路制造装备、新型平板显示装备、光伏新能源装备以及太阳能光伏产业为主的科研生产骨干单位，具备集成电路局部成套和系统集成能力以及光伏太阳能产业链整线交钥匙能力。
多年来，利用自身雄厚的科研技术和人才优势，形成了以光刻机、平坦化装备（CMP）、离子注入机、电化学沉积设备（ECD）等为代表的微电子工艺设备研究开发与生产制造体系，涵盖材料加工、芯片制造、先进封装和测试检测等多个领域；通过了ISO9001、GJB9001A、UL、CE、TüV、NRE等质量管理体系与国际认证。
沈阳拓荆
沈阳拓荆 科技 有限公司成立于2010年4月，是由海外专家团队和中科院所属企业共同发起成立的国家高新技术企业。拓荆公司致力于研究和生产薄膜设备，两次承担国家 科技 重大专项。2016年、2017年连续两年获评“中国半导体设备五强企业”。
该公司拥有12英寸PECVD（等离子体化学气相沉积设备）、ALD（原子层薄膜沉积设备）、3D NAND PECVD（三维结构闪存专用PECVD设备）三个完整系列产品，技术指标达到国际先进水平。产品广泛应用于集成电路前道和后道、TSV封装、光波导、LED、3D-NAND闪存、OLED显示等高端技术领域。
华海清科
天津华海清科机电 科技 有限公司成立于2013年，是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家战略，为推动我国化学机械抛光（CMP）技术和设备产业化成立的高 科技 企业。
华海清科主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务，核心团队成员来自清华大学摩擦学国家重点实验室及业内专业人才，产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。
以上就是我国大陆地区的主要半导体设备生产企业。
随着我国半导体产业的快速发展，对半导体设备的需求量越来越大，而本土半导体设备企业面临着供给与需求错配的情况。一方面，国内的半导体设备需求随着下游产线的扩张而迅速增加，大陆的半导体设备需求占全球半导体设备需求的比重较高；但另一方面，本土的设备供给存在着水平较为落后，国产化率不高的情况。
针对这一情形，在国家的大力支持下，国内设备企业需要积极布局，以在各细分设备领域实现突破。
欢迎分享，转载请注明来源：内存溢出
微信扫一扫
支付宝扫一扫
评论列表（0条）