放肩是一降温过程,引晶完毕后拉速降至0.4, *** 作工需根据引晶时炉内温度和放肩生长情况酌情降温,降温时也需在温校速率上来执行,一般控制在-1度至-5度。也可酌情增加,若放肩过程中"肩"变方。立刻温校速率清零,如仍继续变方可提升拉速,拉速不易超过0.8。
拉晶:
拉晶是指熔融的单质硅在凝固时硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则这些晶粒平行结合起来便结晶成单晶硅。单晶硅具有准金属的物理性质,有较弱的导电性,其电导率随温度的升高而增加,有显著的半导电性。超纯的单晶硅是本征半导体。在超纯单晶硅中掺入微量的ⅢA族元素,如硼可提高其导电的程度,而形成p型硅半导体。
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