半导体工厂上班对身体有害吗?

半导体工厂上班对身体有害吗?,第1张

对身体有害。

半导体产业属于重污染企业,工厂内会有大量的酸性气体。这些气体来自于晶圆的蚀刻、清洗等过程。如HCl、HNO3、NH4OH等气体都很容易产生大量的浓烟,这些烟雾中含有刺激性且含毒性的NO2等等。

由于半导体制造的过程中会需要大量使用光阻液、显影液等等,这些溶液主要是有机物质,因此在蚀刻、清洗、薄膜生长等过程中,会有大量的有机溶剂被使用,其中就包括二甲苯、丙酮、苯、CCl4、CF4、CCl2F2等等,其中苯就是高毒性的一级致癌物。

半导体工厂对有害物质实施的措施

为了防止这些污染伤害员工、污染环境,半导体工厂需要有极为严格的污染防治措施,包括实时处理工作场所的空气、妥善处理生产废料。

尤其是快速发展的亚微米工艺对生产现场的空气洁净度要求特别高,所有半导体加工设备都必须放置在与灰尘隔离的封闭空间中,即为洁净室。

洁净室的洁净度有一个公认的标准,以10类为例,是指在单位立方英寸的洁净室空间内,平均只有10个粒径在0.5微米以上的粉尘,所以Class数越少,清洁度越好,当然成本也越贵。同时,也是洁净室设备厂商保证洁净空间安全、舒适、节能、高效。

半导体的生产是有重污染的。首先,半导体工厂中会有大量的酸性气体(这些气体来自蚀刻和清洗晶圆等)。其次,由于光刻胶溶液、显影液等用量较大。用在半导体制造过程中,这些溶液主要是有机物质,所以在蚀刻,清洗、薄膜生长等过程中。将使用大量的有机溶剂,包括二甲苯、丙酮、苯、四氯化碳、四氯化碳、二氯化碳F2等。其中,苯是一种剧毒的一级致癌物。为了防止这些污染伤害员工和污染环境,半导体工厂需要采取极其严格的污染预防措施,包括工作场所空气的实时处理、生产废物的妥善处理等。可以说,如果污染治理的任何一个环节出现问题,都有可能对员工身体造成很大的伤害,也有可能对周围环境造成很大的污染。


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