用于电子 半导体元件固化,要选择什么样的烘箱呢?

用于电子 半导体元件固化,要选择什么样的烘箱呢?,第1张

半导体元件固化其实就是半导体封装工艺,采用精密热风循环烘箱,给你一个例子:

名称:精密热风循环烘箱/工业烘箱

型号:EHJ-480

温度范围:RT+20~250℃

温度分辨率:0.1℃

温度均匀性:±1.5%

温度波动度:<±0.5℃

内 部 尺寸:W800*D600*H1000(mm)(根据自己要求)

外 部 尺寸:W1250*D810*H1660(mm)

升 温 速率:<50min (室温~250℃)

电源:AC 380v 50HZ

功率:6KW

工作环境:5~35℃

二、产品用途:

EHJ系列精密热风循环烘箱符合JB/T 5502-91 干燥箱行业技术规范,具有升温速度快,控温精准,稳定性好,寿命长久等特点,广泛应用于电子制造,化工医药、精密制造,航天,实验室等行业物料及产品的烘烤,加热干燥,固化,芯片落地寿命恢复,油墨烘干,烤漆等工艺。

三、产品特点:

1.外壳:采用优质1.0mm厚冷轧钢板粉底烤漆工艺制成,具有外观整洁大方,耐刮伤。

2.内胆:采用1.0mm厚SUS304拉丝不锈钢材质,耐酸碱,抗腐蚀,易清洁。

3.风道:采用双风道设计,可依据客户要求选择水平风,垂直风等多种循环风,确保箱内温度均匀性极佳。

4.温控:采用日本富士PID智能温控器,LED数字显示及设定、P.I.D自动演算,SSR固态输出,精准度高,控温精准,温度分辨率0.1, *** 作简便,自带温度信号断线报警功能,可升级至多段程序控制,满足复杂工艺要求。

5.温度传感器:采用不锈钢铠甲覆套式PT100铂电阻温度传感器,误差<0.5.信号传输线抗干扰,铁氟龙覆套,可耐高温 400度。

6.加热管:采用SUS304覆套式加热器,发热均匀,耐高烧,无明火,安全无污染,寿命长久。

7.鼓风装置:采用长轴耐高温马达,不锈钢涡轮扇叶,风量50m2/h。

8.保温层:采用优质硅酸盐棉材料填充,防火阻燃,保温效果好。

9.密封胶条:采用优质硅橡胶材质,密封性好,耐高温(最高耐温350度),抗老化,卫生无污染。

10.排风:采用可调节式排风装置,自由调节风口大小,可加装强排风装置,实现快速降温。

11.计时装置:HS48S时间继电器,时间设定范围0.1S~9999H

12.电器:采用韩国LG交流接触器,欧姆龙中间继电器,开关,信号灯采用国产正泰优质电子器件,保证安全性高,电器工作稳定,寿命长久。

13.其它功能:欠压缺相保护,超温报警(自动切断加热),马达过载保护,时间到达警示功能。

(ENOHK伊诺华科友情提醒)

半导体制造设备和材料是半导体行业最上游的环节。目前来看,集成电路设备制造是中国芯片产业链中最薄弱的环节。经过20多年的追赶,中国与世界在芯片制造领域仍有较大差距。虽然中国在该领域整体落后,但刻蚀机方面已在国际取得一席之地。

全球半导体设备市场的后起之秀

随着近些年 社会 对集成电路的重视和大批海外高端人才的回归,我国的集成电路在这几年出现了飞速的发展。在IC设计(华为海思)、IC制造(中芯国际)、IC封测(长电 科技 )、蚀刻设备(中微半导体)上出现了一批批优秀的企业。

1、半导体设备

我们的主角中微半导体所在的领域就是半导体设备细分行业,这个行业主要有两种半导体设备,一是光刻机,一个是刻蚀机。中微是以刻蚀机为主要设备的供应商,去年12月公司自主研制的5nm等离子体刻蚀机正式通过台积电验证,将用于全球首条5nm制程生产线。

芯片,这个从前被戏称为:除了水和空气,其他都是进口的行业。最近中美贸易战的焦点就是在芯片领域,美国政府对华为的封锁就是下令美国供应商没有经过国会批准不准买给华为芯片。这也是我们非常气愤的地方,为什么中微半导体有了最先进的设备还是会受人制肘呢?

主要是我国的短板在于光刻机,与国外先进技术有非常大的差距。为什么刻蚀机技术那么好,不能弥补这个短板吗?这就是光刻机和蚀刻机的不同,有一部分人把蚀刻机与光刻机搞混。其实两者的区别非常的大,光刻机是芯片制造的灵魂,而蚀刻机是芯片制造的肉体。

光刻机把电路图投影到覆盖有光刻胶的硅片上面,刻蚀机再把刚才画了电路图的硅片上的多余电路图腐蚀掉。光刻机把图案印上去,然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分就是集成电路。所以说这是两个过程要用到的设备,而且这两个过程是连续的。

我国光刻机的最高水平是上海微电子的90nm制程,世界顶尖的光刻机是ASML的7nm EUV光刻机,ASM已经开始研制5nm制程的光刻机。相对来说,我国在光刻机制造领域与国际先进水平有很大的差距,高端光刻机全部依赖进口。只能说我国的刻蚀机技术领先,中微半导体的介质刻蚀机、硅通孔刻蚀机位于全球前三。但是在整个产业链的产能和技术上,与一些大型的企业差距非常的大,所以在中美贸易战中显得很吃亏。

那我们说完了中微半导体这个单独的行业领域,现在放眼整个行业,来看看半导体设备到底在这个行业中扮演者什么角色?

2、半导体产业

半导体的发展是越来越集成化,越来越小。从早期的电子管到现在的7nm器件,一个小小的芯片上需要有几百个步骤和工艺,显示出高端技术的优越性。也正是这样的行业特点,导致整个行业非常依赖技术的创新。而半导体设备是制作芯片的基石,没有这一块芯片不可能出现。

可以看到虽然产值低,但是缺这个还真的没办法发展下游。这也是贸易战在芯片领域为什么大打出手的原因,没有先进的技术,很难发展非常广大的信息系统。可以说这一行创造的价值并不高,但是不能缺少,是高端技术的积累。

大国重器:7nm芯片刻蚀机龙头

在技术含量极高的高端半导体产业中,能与美欧日韩等国际巨头同台较量的中国企业凤毛麟角,而中微半导体是其中一家。中微半导体是一家以中国为基地、面向全球的高端半导体微观加工设备公司,主要从事半导体设备的研发、生产和销售。而要了解中微这家公司,先不得不介绍一下公司创始人尹志尧。

尹志尧是一个颇具传奇色彩的硅谷技术大拿。

1980年赴美国加州大学洛杉矶分校攻读物理化学博士,毕业后进入英特尔中心研究开发部工作,担任工艺程师;1986年加盟泛林半导体,开发了包括Rainbow介质刻蚀机在内的一系列成功的等离子刻蚀机,使得陷入困境的泛林一举击败应用材料,跃升为全球最大的等离子刻蚀设备制造商,占领了全球40%以上的刻蚀设备市场。

以此同时,泛林与日本东京电子合作,东京电子从泛林这里学会了制造介质等离子体刻蚀机,复制其Rainbow设备在日本销售,后来崛起为介质刻蚀的领先公司。

1991年,泛林遭老对手美国应用材料挖角,尹志尧先后历任应用材料等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁及等离子体刻蚀事业群总经理、亚洲总部首席技术官。

为了避免知识产权风险,尹志尧从头再来,用不同于泛林时期开发的技术,研发出性能更好的金属刻蚀、硅刻蚀和介质刻蚀设备,应用材料再次击败泛林,重返行业龙头地位,到2000年,应用材料占据了40%以上的国际刻蚀设备市场份额。

目前全球半导体刻蚀设备领域三大巨头——应用材料、泛林、东京电子,都与尹志尧的贡献密切相关。

2004年8月,已年届六旬的尹志尧带领15名硅谷资深华裔技术工程师和管理人员回国,创立了中微半导体,并在短短数年之间崛起为全球半导体设备领域的重要玩家。

中微从2004年创立时,首先着手开发甚高频去耦合的CCP刻蚀设备Primo D-RIE,到目前为止己成功开发了双反应台Primo D-RIE,双反应台Primo AD-RIE和单反应台的Primo AD-RIE三代刻蚀机产品,涵盖65nm、45nm、32nm、28nm、22nm、14nm、7nm到5nm关键尺寸的众多刻蚀应用。

从2012年开始中微开始开发ICP刻蚀设备,到目前为止己成功开发出单反应台的Primo nanova刻蚀设备,同时着手开发双反应台ICP刻蚀设备。公司的ICP刻蚀设备主要是涵盖14nm、7nm到5nm关键尺寸的刻蚀应用。

这里面看起来是几个似乎不起眼的数据,但里面蕴含了满满的技术含量。而中微到底是否掌握了5nm刻蚀技术,一时间众说纷纭。如今,中微半导体与泛林、应用材料、东京电子、日立4家美日企业一起,组成了国际第一梯队,为全球最先进芯片生产线供应刻蚀机。

1.美国英特尔(Intel)公司,以生产CPU芯片闻名于世!

2.三星(Samsung)电子公司成立于1969年,初期主要生产家用电子产品,如

电视机和录像机等。七十年代始进入国际市场,逐渐发展成为全球五大电

子公司之一,产品也由家电扩展到计算机、通讯等诸多方面。九十年代由

于经济方面的原因,三星公司进行了大规模的战略重组。1978年,三星半

导体从三星电子公司分立出来而成为独立的实体,1983年起随着成功发展

了64K DRAM超大规模集成电路,从此在单一家电类半导体产品基础上发展

了许多新的半导体产品,逐渐成为全球领先的半导体厂商。它的半导体产

品主要有DRAM、SRAM、闪速存储器、ASIC、CPU和TFF-LCD板等等。

3.德州仪器(TI)公司总部位于美国德克萨斯州达拉斯城,是一家全球性的

半导体公司,是世界领先的数字信号处理和模拟技术的设计商、供应商,

是推动电子数字化进程的引擎。主要IC产品有:数字信号处理器、模拟和

混合信号器件、数字逻辑、ASIC、微控制器、语音和图形处理器、可编程

逻辑、军用器件等。

4.东芝(Toshiba)在国际市场上盛名远扬,家喻户晓。在日本之外,东芝拥

有100多家子公司和协作公司的庞大全球网络,仅海外子公司便拥有40,000

多名雇员,他们遍及全球各地,从事着从科研到采购、生产、销售以及市

场调研等工作。分布在世界各地的39个厂家构成东芝的生产网络,制造品

种繁多的产品,包括最先进的半导体元件、显象管、彩色电视机、移动式

计算个人电脑、光?磁存储、消耗品及工业用发电机和变电装置。这些技术

和设备均处世界领先地位的东芝生产厂家,强有力地保障着公司技术和整体

能力的发展,推动着电子工业的进步;同时也提供了更多的就业机会,进

一步促进了当地经济的蓬勃发展。

5.台积电(TSMC)成立于1987年,是全球最大的专业集成电路制造服务公司

。身为专业集成电路制造服务业的创始者与领导者,TSMC在提供先进晶圆

制程技术与最佳的制造效率上已建立声誉。自创立开始,TSMC即持续提供

客户最先进的技术;2006年的总产能超过七百万片约当八吋晶圆,全年营

收约占专业集成电路制造服务领域的百分之五十。

6.意法半导体会(ST)是全球性的独立半导体制造商。公司设计、生产、销

售一系列半导体IC和分立器件,用于远程通讯系统、计算机系统、消费电

子产品、汽车和工业自动化控制系统。ST是全球MPEG-2解码IC、数字机顶

盒IC、Smartcard MCU、特殊汽车IC和EEPROM非易失存储器最大供应商,也

是第二大模拟/混合信号ASSP和ASIC、磁盘驱动IC及EEPROM存储器供应商。

公司的产品采用一系列专有制作工艺和设计方法设计生产,可提供3000多

种主要型号产品。

ST公司是1987年由法国Thomson Semiconductors和意大利SGS

Microelectronics合并而成。自从成立以来,ST公司不断扩大生产能力,

目前公司拥有雇员约34,000人,共有9个研发机构,35个设计和应用中心,

17个生产据点,并在24个国家建立了62个销售部门。公司总部一部分在法

国St Genis,另一部分在瑞士日内瓦,在美国、新加坡、日本设立了地区总

部。ST公司十分重视技术发展,1999年投入26.6%销售收入用于产品研发,

共完成了751项新专利应用。公司设计销售几乎每种型号半导体器件,从简

单的晶体管到世界上最复杂的IC产品,覆盖了所有主要的半导体器件。其

中包括:专用IC、微处理器、半定制IC、存储器、标准IC、分立元件等。

7.瑞萨科技(Renesas)在2003 年4 月1 日正式成立,以领先的科技实现人

类的梦想。结合了日立与三菱电机在半导体领域上的丰富经验和专业知识

,配合全球二万七千名员工的无限创意,我们将无处不在,超乎你的想像

。科技的价值在于让一切变得可能,身为一家具有领导性和值得信赖的智

能晶片解决方案供应商,我们对于拓展明日无处不在的网络世界,担当重

要的角色。我们的创造力具前瞻性,为人类创造出更舒适美好的生活。

瑞萨精密的AFE ,运用10/12/14-bit 高信号解析度,可达到极佳讯号/噪

音比率,并融合影像处理器的原创IP 技术,以提供高品质的数位摄影。同

时,瑞萨亦是DVD 录影科技先驱,晶片设计整合不同要求,产品包括了

MPEG LSIs 、AFE 类比、DVD DSPs 、ODD 信号处理器及嵌入式的MCU 。瑞

萨同时更掌握LCD 液晶体电视的新科技,除了生产LCD-TV 的核心系统,也

有各重要部份:影像数据晶片、LCD 时间控制器、LCD 驱动器、M16C 及

H8S 微控制器、驱动器解决方案、订制平台、ASSPs...等。

8.海力士(Hynix)1983年开始运作,目前已经发展成为世界级电子公司,拥

有员工约22,000人,1999年总资产达20万亿。在DRAM存储器领域,Hynix

Semiconductor产量居世界前列。目前,公司经改组之后,核心业务主要集

中于三个部分:半导体、通信和LCD。

9.索尼(Sony)半导体分部是索尼电子公司1995年3月在美国加州圣约瑟市建

立的一个分部,该分部使索尼公司能够对变幻莫测、竞争激烈的美国半导

体市场迅速做出反应,为索尼电子公司发展高附加值的通讯、音频/视频、

计算机应用产品提供后备支持。

10.高通(Qualcomm)公司开发、销售一系列高性能FPGA半导体产品和软件

开发工具。公司原名Peer Research

Inc.,1988年4月由John Birkner,

Andy Chan 和 H.T. Chua创建, 1991年2月改名为QuickLogic公司,同时

发布了它的第一个FPGA产品--

pASIC1系列,并随后开发了基于PC计的开发

工具-- QuickWorks,以其容易使用和有效实用被广泛接受。1995年和1997

年又分别发布了pASIC 2和 pASIC 3两个系列的产品。1998年,QuickLogic

公司发布了一种新的器件,被称为ESP(Embedded Standard Products),

该器件基于QuickLogic公司的核心FPGA技术,结合了标准产品的优点和可

编程器件的灵活机动的特点。目前已发布三个系列的ESP产品,即QuickRAM

系列、QuickPCI系列和 QuickDSP 系列。

QuickLogic公司总部在美国加州,它的半导体产品主要由代工服务商生产

,Cypress Semiconductor主要代为生产采用0.65微米CMOS工艺的pASIC器

件,台湾的TSMC1996年起成为QuickLogic公司的代工服务商。


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