半导体用的石英管为什么需要低铝含量

半导体中，石英管通常用于高温环境下的热氧化或热扩散。要求低铝含量的原因如下：

1、热氧化热扩散主要是半导体器件形成源漏结的关键步骤，不能有金属离子污染。

2、高温环境可达1000多摄氏度，铝容易硅化，会造成器件结区损伤，容易漏电。

石英管和卤素管的耐高温程度、主体构成和应用范围都有所不同，具体如下：

1、耐高温程度不同

石英管可在1100℃下长时间使用，最高使用温度可达1450℃，卤素管的最高工作温度在800℃左右。

2、主体构成不同

石英管采用的原料是特级水晶石，卤素管内充卤族元素惰性气体，中间有钨丝分白、黑两种。

3、应用范围不同

卤素管可以加工成各种形状（环形、梨形、U形、C形、直管形）的远红外卤素发热灯管。广泛运用到各种小家电如：电暖器、雅乐炉、电火炉、咖啡壶、美容器、烘箱等。石英管被广泛的应用于电光源、半导体、光通信、军工、冶金、建材、化学、机械、电力、环保等各个领域。

扩展资料

石英管的物理性能

1、热稳定性好

石英玻璃的热膨胀系数极小，能承受剧烈的温度变化，将石英玻璃加热至1100℃左右，放入常温水中也不会炸裂。

2、透光性能好

石英玻璃在紫外线到红外线的整个光谱波段都有较好的透光性能，可见光透过率在93%以上，特别是在紫外光谱区，最大透过率可达80%以上。

3、电绝缘性能好

石英玻璃的电阻值相当于普通玻璃的一万倍，是极好的电绝缘材料，即使在高温下也具有良好的绝缘性能。

石英具有很多的优势，具有坚硬、耐磨、化学性能稳定等特性，这些特性使得石英具有广泛的应用，可以用于制作半导体、电光源器、半导通信装置、激光器，光学仪器，实验室仪器、电学设备、医疗设备等多种领域。

随着半导体技术的发展，石英玻璃被广泛的用于半导体生产的各项工序中。比如，直拉法把多晶转化成单晶硅；清洗时用的清洗槽；扩散时用的扩散管、刻槽舟；离子注入时用的钟罩等等。

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