(1)固有(本征)表面态:晶格中断→表面产生悬挂键→具有束缚电子的作用~表面态.
(2)非本征表面态:杂质或者缺陷产生的价键→表面态.
——因为表面态是电子的一种束缚状态,所以,在能带图上,表面态上电子所对应的能量——能级,就称为表面能级.
——表面态也可以是空穴的束缚状态.
——表面态对于半导体性能的影响,主要表现为起复合中心作用,降低少数载流子寿命.
关于MOS 决定半导体能带弯曲的因素是电压平带电压(Flat band voltage)就是在MOS系统中,使半导体表面能带拉平(呈平带状态)所需要外加的电压。
对于实际的MOS系统,由于金属-半导体功函数差φms和Si-SiO2系统中电荷Qf 的影响, 在外加栅极电压为0 时,半导体表面的能带即发生了弯曲,从而这时需要另外再加上一定的电压才能使能带拉平,这个额外所加的电压就称为平带电压。
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