1、加热。假设室温20℃的情况下,用加热器将清洗溶液的温度加热到80℃,这样酸碱在高温下能加快反应,得到更好的清洗效果。
2、使用超声波产生气泡,同样能够达到吸取硅片表面杂质的目的。这种情况是在温度要求不能太高的情况下使用的。
3、震动。为了让杂质不会粘贴在硅片表面上,采用一种晃动的方式,让装有硅片的篮子在清洗溶液中充分接触溶液,增加摩擦,有效去污。
半导体制造分不同等级,不同等级对电压有不同要求。半导体芯片基本分为商业级、工业级、车规级、军工级。最常见的是商业级就是手机类消费电子产品,通常电压都是里伏特。而像工业级、车规级电压会大很多,车规级几十伏特电压,军工级更复杂。在中国标准分类中,半导体芯片涉及到半导体分立器件综合、半导体发光器件、微电路综合、半导体二极管、微波、毫米波二、三极管、光通信设备、半导体集成电路、标准化、质量管理、电工仪器、仪表综合、元素半导体材料。半导体中铝湿法腐蚀铝残留的原因有:1、掩膜材料(主要指光刻胶)显影不清和曝光强度不够,会使显影时留有残胶,通常会使腐蚀不净。
2、须腐蚀膜的类型(指如SIO2,POLY,SILICON等)。
3、腐蚀速率。腐蚀速率的变化会使腐蚀效果发生改变,经常会导致腐蚀不净或严重过腐蚀,从而造成异常,影响腐蚀速率的因素可见下面的影响因素。
4、浸润与否。由于在湿法腐蚀时由于腐蚀液与膜间存在表面张力,从而使腐蚀液难于到达或进入被腐蚀表面和孔,难于实现腐蚀的目的。
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