半导体废气处理设备需要生产许可证吗

对于半导体生产 *** 作，空气许可也是必要的。许可证要求将取决于设施的位置和废气的含量。空气许可证定义了维持许可证的报告、监控和记录保存要求。

所有这些不同的半导体应用都有一个共同因素：由应用决定的电性能要求。半导体是一种具有中等导电率的材料，因此有半前缀。

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半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。

半导体有机废气处理办法

采用RTO设备处理

RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水，净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量，废气分解效率达到99%以上，热回收效率达到95%以上。

直接燃烧法处理

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉（TO）→烟囱排气达标排放。

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