cassette在工厂里是晶盒的意思。晶盒(Cassette)是用来装晶圆的盒子,是一个个分离的插槽组成。一般一个晶盒可插入25片晶圆。晶圆在加工时都是以晶盒为单位进行的。
由于半导体制造业在美国等西方国家发展较早,目前半导体方面的资料大多数以英文为主。很多的半导体行业术语都还没有标准的中文翻译,在半导体行业内部一般都用英文代之,所以就有了晶盒(Cassette)。
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cassette在工厂里是晶盒的意思。晶盒(Cassette)是用来装晶圆的盒子,是一个个分离的插槽组成。一般一个晶盒可插入25片晶圆。晶圆在加工时都是以晶盒为单位进行的。
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