在半导体制造厂中,为了维持半导体设备的良率与产出,定期对于半导体设备机台的监控(Monitor)成为一项极为重要的工作,其中,对于半导体设备机台的监控程序包括定期依据设备工程师定义的数据收集半导体制造设备状态值(StatusValue,SV)来对于此半导体设备机台进行测量。
极低的接收灵敏度,再加上业界领先的超大输出功率保证扩大范围和提高链路性能。
设备没有毒,是设备里通的气体化学品有毒,半导体都是用的带有毒性的化学品而且还是剧毒,检测是必须要有的,主要就是气体侦测的sensor才会和毒气接触,监控的地方不会有毒气过来的,可以用远程监控的半导体封装工艺中,如果是封装胶体中形成的小孔有至少三个原因:1. 材料不良。2. 设备不良 3. *** 作不良。解决方法有三个: 1. 加严材料入检 2. 加强监控设备状态 3.严格要求制程数位指导和 *** 作训练。
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