广东中科半导体微纳制造技术研究院怎么样

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广东中科半导体微纳制造技术研究院为中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所与佛山市人民政府、佛山市南海区人民政府签署共建的广东省省属科研事业单位,一期投入运营资金12亿元。

一，原题解释：

微纳技术是针对制造与处理那些大小处于微米到____级别物体的一种高新技术，可谓“科学绣花针”。

A.飞米

B.纳米

答案：B

二，微纳技术定义

1.微纳制造技术是指尺度为毫米、微米和纳米量级的零件，以及由这些零件构成的部件或系统的设计、加工、组装、集成与应用技术。

2.传统“宏”机械制造技术已不能满足这些“微”机械和“微”系统的高精度制造和装配加工要求，必须研究和应用微纳制造的技术与方法。微纳制造技术是微传感器、微执行器、微结构和功能微纳系统制造的基本手段和重要基础。

三，微纳技术制造

微纳制造包括微制造和纳制造两个方面。

(1)微制造 有两种不同的微制造工艺方式，一种是基于半导体制造工艺的光刻技术、LIGA技术、键合技术、封装技术等

(2)纳制造 纳制造是指具有特定功能的纳米尺度的结构、器件和系统的制造技术，主要分为两种方向，一种以微制造为基础向其制造精度的极限逼近，达到纳米加工的能力，另一种采用新物理效应对纳米量级进行 *** 控制造，纳米制造包括纳米压印技术、刻划技术、原子 *** 纵技术等。

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