半导体扩散电流的本质是什么

半导体扩散电流的本质是什么,第1张

半导体扩散电流的本质是载流子会从高浓度区向低浓度区扩散。根据查询相关资料显示半导体中载流子浓度分布不均匀时,载流子会从高浓度区向低浓度区扩散。扩散电流是PN结中由载流子扩散运动形成的电流。扩散运动则是载流子顺浓度梯度,由浓度高的区域向浓度低的区域运动的现象。在不受外加电压影响的PN结中,P区的多子空穴向N区扩散,N区的多子自由电子向P区扩散。当载流子通过两种半导体的交界面后,在交界面附近的区域里,P区扩散到N区的空穴与N区的自由电子复合,N区扩散到P区的自由电子与P区的空穴复合。电流方向指向空穴移动方向(或自由电子移动的反方向),扩散电流由P区指向N区。

扩散技术目的在于控制半导体中特定区域内杂质的类型、浓度、深度和PN结。在集成电路发展初期是半导体器件生产的主要技术之一。但随着离子注入的出现,扩散工艺在制备浅结、低浓度掺杂和控制精度等方面的巨大劣势日益突出,在制造技术中的使用已大大降低。1 扩散机构2 替位式扩散机构这种杂质原子或离子大小与Si原子大小差别不大,它沿着硅晶体内晶格空位跳跃前进扩散,杂质原子扩散时占据晶格格点的正常位置,不改变原来硅材料的晶体结构。硼、磷、砷等是此种方式。 3. 填隙式扩散机构这种杂质原子大小与Si原子大小差别较大,杂质原子进入硅晶体后,不占据晶格格点的正常位置,而是从一个硅原子间隙到另一个硅原子间隙逐次跳跃前进。镍、铁等重金属元素等是此种方式在当今的亚微米工艺中,由于浅结、短沟的限制,硅片工艺后段的热过程越来越被谨慎地使用,但是退火仍然以不同的形式出现在工艺的流程中。退火可以激活杂质,减少缺陷,并获得一定的结深。它的工艺时间和温度关系到结深和杂质浓度。4磷掺杂由于磷掺杂的控制精度较底,它已经渐渐地退出了工艺制作的舞台。但是在一些要求不高的工艺步骤仍然在使用。5多晶掺杂向多晶中掺入大量的杂质,使多晶具有金属导电特质,以形成MOS之“M”或作为电容器的一个极板或形成多晶电阻,之所以不用离子注入主要是出于经济的原因

浓度越高,扩散越慢,浓度月底,扩散越快

扩散可以分类为很多不同种类的扩散,其需要和状态大体不相同。有些扩散需要介质,而有些则需要能量。因此不能将不同种类的扩散一概而论。有生物学扩散、化学扩散、物理学扩散,等等。

由于分子(原子等)的热运动而产生的物质迁移现象.一般可发生在一种或几种物质于同一物态或不同物态之间,由不同区域之间的浓度差或温度差所引起,前者居多.一般从浓度较高的区域向较低的区域进行扩散,直到同一物态内各部分各种物质的浓度达到均匀或两种物态间各种物质的浓度达到平衡为止.显然,由于分子的热运动,这种“均匀”、“平衡”都属于“动态平衡”,即在同一时间内,界面两侧交换的粒子数相等,如红棕色的二氧化氮气在静止的空气中的散播,蓝色的硫酸铜溶液与静止的水相互渗入,钢制零件表面的渗碳以及使纯净半导体材料成为N型或P型半导体掺杂工艺等等都是扩散现象的具体体现;在电学中半导体PN结的形成过程中,自由电子和空穴的扩散运动是基本依据.扩散速度在气体中最大,液体中其次,固体中最小,而且浓度差越大、温度越高、参与的粒子质量越小,扩散速度也越大。


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