pcw是什么意思？

pcw是工艺冷却水系统。

工艺冷却水系统(PCW），亦称制程冷却水系统。主要用于冷却工艺设备，简单来说就是工艺设备的空调系统。

PCW系统中有冷冻水和冷却水这两个相对独立的系统，冷冻水由冷冻机提供，冷冻水与冷却水进行热交换，使冷却水降温从而降低设备的温度。

从生产设备抽水经水泵至板式换热器通过控制冷冻水的量来保证PCW的水温，通过过滤器后送至生产线设备，再回到水泵。构成PCW闭式循环。冷冻水侧直接回冷冻机。

工艺冷却水系统的注意事项：

冷却水系统中一般包括水箱、循环水泵、精密过滤器、板式换热器、生产设备用水点、水泵变频电气控制、温度传感器、压差传感器、压力传感器、RO补水装置、背压阀、调压阀、阀件及不锈钢管道等。

PCW在半导体厂是个非常重要的系统，出现故障会影响车间内的大部分的生产设备而导致巨大损失，系统自动化程度高，对控制要求较高，主要包括水温、压力、水质以及水泵的控制。

#P#半导体厂务制程排气系统半导体厂务系统，大都可区分仪电(69KV变电所及11.4KV变电站系统、480 / 277 / 120V系统、发电机系统、PC / CV系统、空压机系统、FMCS系统、电话系统、门禁系统)、系统工程(纯水系统、PCW系统、City Water系统、废水处理系统、气体供应系统、化学供应系统)、机械工程(洁净系统、Chiller &Hot water系统、废气处理 / 排气系统)、装机专案(给水 / 排水配管、气体 / 排气配管、真空配管、电力配线、厂商管理系统)、厂区服务(一般水电维护、土木及装潢、景观园艺、TPM预防保养)。今就其废气处理及排气系统加以说明如下。在半导体生产环境中，不同的设备机台会产生不尽相同的化学性废气，虽然部份设备机台本身有前废气处理设备，仍然不能避免处理设备失效之问题。另外晶片生产制程中也使用了大量的易燃溶剂与化学品，因此必须将它们做有效的分类与处理，以避免在管路中因二度化学反应产生危险，并降低废气排放及符合环境法规要求， 因此废气排放处理系统在此就扮演著很重要的角色。废气排放处理系统(Air Abatement System，简称AAS)，其排气管路可区分为General Exhaust System (GEX)、Scrubber Exhaust System (SEX)、Ammonia Exhaust System (AEX)、VOC Exhaust System (VEX)。General Exhaust System (GEX)生产过程机台本身会产生热源、particle与无害气体，但考虑无尘室空调与过滤装置负荷，及生产环境温度的舒适性，因此将此废气以一般风车抽取排放至大气环境，不需做任何处理(图一)。#F#图一：General Exhaust SystemScrubber Exhaust System (SEX)在晶片生产过程中，制程设备会使用大量的化学品，其大都涵盖大量酸性与少量碱性等腐蚀性化质。如果未将此类化学性废气加以处理而排放，则势必会严重冲击我们的环境。 SEX设备主要是一湿式洗涤塔(Scrubber)，利用碱性(NaOH)循环水冲洗制程排放的酸性废气，并藉由酸碱中和原理将排气中性化而不具腐蚀性，而排气的化学物质经冲洗沉降并定量排放至废水处理场做进一步处理(图二)。#F#图二：Scrubber Exhaust SystemAmmonia Exhaust System (AEX)AEX (图三)最主要是处理制程设备所产生的Ammonia (阿摩尼亚，NH3)。处理设备本身主要也是一湿式洗涤塔(Scrubber)，利用酸性(H2SO4)循还水冲洗制程排放中所含有的Ammonia废气，废气中的化学物质NH3经冲洗而溶於循还水中，废气再进入SEX处理，其洗涤塔废水定量排放至废水处理场做进一步处理。 #F#图三：Ammonia Exhaust System而Ammonia 的废气不直接进入SEX处理，乃是Ammonia (NH3)的废气与SEX内的氯与氟根离子(CL-, F-) 产生反应，生成白色的氯化氨或氟化氨(NH4CL, NH4F)粉尘结晶，会造成管路阻塞，环境污染与烟囱排放不透光率不符环保法规要求。VOC Exhaust System (VEX)Volatile organic compounds (VOCs)其特徵和酸碱不同，且较难处理。若未处理直接排至大气环境，会有污染空气，造成空气品质下降之风险。一般来说VEX处理系统主要分为两大部份：(1) ACT 690 Condenser (冷凝器) only for partial equipment；(2)沸石转轮(Zeolite roller)。ACT 690 Condenser主要的功能在於先处理高融点的VOC，以利後段沸石转轮处理其它低融点之VOC(图四)。ACT 690 Condenser组成包括：● Filter：过滤来自设备排放的杂质；● Cooler：一种利用热交换浓缩冷凝气态有机化合物的设备，是以5蚓冰水将部份高融点气态 VOC冷凝下来便於收集处理；● Exchanger：此热交换器是一节能装置，将冷凝後的低温废气再与入口的高温废气先做热交换後，才到cooler再冷凝；● Carbon absorber：ACT 690浓缩後的气态VOC本体有很浓的臭味，因此设有活性碳吸附器carbon absorber去除部份臭味。#f#图四：ACT 690 Condenser

PCWS:制程冷却水供水暖通名词解释英文缩写Absolute Filter，绝对过滤器 早期国外某公司为有隔板高效过滤器起的商品名，对应过滤效率99.97%（0.3mm DOP）。 AC fine (Air Cleaner Test Dust, fine)，AC细灰 美国规定用于过滤与除尘设备性能试验的标准粉尘，除中国和日本之外各国通用。该粉尘取自美国亚利桑那荒漠地区，俗称Arizona Road Dust。 在AC细灰中掺入规定量的短纤维和碳黑，就成了过滤器试验常用的ASHRAE标准粉尘。 国际标准化组织ISO规定用AC细灰测量汽车滤清器的过滤效果。 Aerosol，气溶胶 固体或液体颗粒物与气体形成的一种相对稳定的悬浮体系。 国际上，搞过滤理论的人多数参与气溶胶学会的活动，但搞过滤应用的人更喜欢在暖通空调行业扎堆儿。 VOCs（Volatile Organic Compounds），挥发性有机化合物 空调行业流行语，指空气中的分子污染物。 搞集成电路的人们管分子污染物叫AMC。 Ventilation Filter 泛指一般通风用过滤器，以区别洁净室用高效过滤器。有时也称Ashrae Filter。 Van de Waals Force，范德瓦尔斯力 分子与分子，分子团与分子团表面间的一种引力包括取向力、诱导力、色散力。粉尘粘在过滤介质上，主要靠的是范德瓦尔斯力。活性炭过滤器吸附化学污染物时，靠的也是范德瓦尔斯力。 范德瓦尔斯有时被译为“范德华”。 ULPA (Ultra Low Penetration Air) Filter 对0.1～0.2mm粒子过滤效率≥99.999%的过滤器（美国）。 对MPPS效率≥99.9995%的过滤器（欧洲）。 对0.12mm粒子过滤效率≥99.999%的过滤器（美国早期）。 ULPA的汉语译名为“超高效过滤器”、“甚高效过滤器”。 Synthetic Media 化学纤维滤材，有些地区和行业称其为合成纤维。 Sick Building Syndrome，建筑致病症状 十多年前暖通界热门题目。室内空气差劲经常被认为是致病元凶。 Resistance 过滤器阻力。有时也称Pressure Drop，Differential Pressure，DP。Pulse-jet Filter，自洁式过滤器 带有压缩空气脉冲反吹清灰装置的过滤器和除尘器。 PTFE 聚四氟乙烯 在过滤行业，PTFE滤材指用驻极体聚四氟乙烯纤维制成的高效过滤材料。PTFE滤材是是一种新兴过滤材料，它没有微量挥发物，强度好，目前的缺点是价格高。 Pre-filter，预过滤器 对下一级过滤器起保护作用的过滤器。预过滤器可以有各种形式和效率规格。由于中央空调系统中的初级过滤器往往效率较低，“预过滤器”常与粗过滤器混淆。 PP (Polypropylene)，聚丙烯，丙纶 在过滤行业，常指带静电（驻极体）的超细聚丙烯纤维过滤材料。 PE（Polyester），聚酯 在过滤行业，指聚酯类化学纤维，例如涤纶纤维。 Particle Efficiency，计数效率 用粒子计数器测量的过滤器效率，见“一般通风用过滤器试验方法”。 AFI (Air Filter Institute)，美国空气过滤研究所 过滤效率的试验方法计重法和比色法首先由AFI使用，有人称AFI效率。若见到“AFI效率”，你要自己判别是计重效率（Arrestance）还是比色效率（Dust-spot）。 AHU (Air Handling Unit)，中央空调器 中央空调是最经常见到空气过滤器的地方。Air Filter，空气过滤器 用在中央空调和洁净室时，称为空气过滤器；用在活塞发动机和小型空压机上，它叫空气滤清器。 AMC（Airborne Molecular Contaminant），气载分子污染物 半导体制造业对分子污染物的称呼。 Arrestance，计重效率 对低效率过滤器采用计重法得出的效率，见“一般通风用过滤器试验方法”。 ASHRAE Efficiency 用美国采暖、制冷与空调工程师协会标准ASHRAE 52.1规定方法测出的效率。一般指的是比色法（dust-spot）效率，有时也称NBS效率、AFI效率。 β值 描述液体过滤材料和液体过滤器过滤效果的一个常用参数。β值也称过滤比。b值是透过率的倒数，与过滤效率的关系为：过滤效率 = 1 – 1/β β5 = 200，表示粒径为5mm的颗粒，200个中有一个透过。Cellulose Media，木浆滤纸 以木质纤维（木浆）为主要原料的过滤纸。木浆滤纸是制作滤清器的最常见过滤材料。“木浆滤纸”让人觉得太普通，因此经常有些令人莫名其妙的替代词。 Chemical Filter，化学过滤器 在空调领域，化学过滤器一般指的就是活性炭过滤器。 CNC（Condensation Nucleus Counter） 凝结核计数器 以微小粉尘为核，凝结了其它物质，使颗粒增大，仪器就可以检测到它。在过滤器的试验中CNC可用于高效过滤器的扫描试验、滤材的检测。 Deep-Pleat 对传统有隔板过滤器的习惯称呼。 DOP 邻苯二甲酸二辛酯 DOP为塑料工业一种常用增塑剂，也是一种常见清洗剂。 用0.3mm的DOP液滴做粒子，测量高效过滤器得出的过滤效率称为“DOP效率”。见“高效过滤器试验方法”。 Dust-Spot，比色法 多年来国际流行的，对一般通风用过滤器的测试方法。见“一般通风用过滤器试验方法”。FFU (Fan Filter Unit) 自带风机的高效过滤单元。当代集成电路生产中高洁净度厂房流行过滤装置。尚未见到大家都满意的译名。“有源过滤单元”，“风机过滤单元”，你觉得这些词儿如何？ Fiberglass，玻璃纤维 常见过滤材料。 G，F，H，U 欧洲对过滤器的分类代号，用的是德语字头。G代表Grob，F代表Fein，H为HEPA，U为ULPA。 GMP (Good Manufacture Practice)，药品生产质量管理规范 GMP是制药厂必须执行的强制性标准。 HEPA (High Efficiency Particulate Air) Filter，高效过滤器 对0.3mm尘埃粒子过滤效率≥99.97%，并且经过规定方法检验合格的过滤器。 家用电器中的HEPA是一般指用HEPA滤纸制作的过滤器。 HEPA Diffuser，高效过滤风口 装有高效过滤器的非均匀流洁净室送风装置。 HEPA Panel 洁净室用无隔板高效过滤器的习惯叫法。 IAQ (Indoor Air Quality)，室内空气品质 暖通业当今时髦话题，过滤器商家炒作热点。 MPPS (Most Penetratiable Particulate Size)，最易穿透粒径 测量过滤器对最难过滤颗粒物过滤效率的一种扫描测试方法。暂译“最易穿透粒径法”。对于洁净室末端HEPA与ULPA过滤器，该方法已经成为主要测试方法。见“高效过滤器试验方法”。 Mini-Pleat 无隔板过滤器的习惯称呼。有时也称为Close-pleated。 NBS (National Bureau of Standard)，美国国家标准局 早期的美国国家标准局曾将AFI的计重法和比色法定为国家标准。所以，对应这两种方法的过滤效率也称NBS效率。分享到搜狐微博

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