半导体工艺技术中的纳米是指什么的单位

纳米是长度量单位,是一米的十亿分之一（千米→米→厘米→毫米→微米→纳米）, 4倍原子大小，万分之一头发粗细。纳米技术是是指制造体积不超过数百个纳米的物体，其宽度相当于几十个原子聚集在一起。

硅片尺寸（8英寸、12英寸）上加工纳米级的电路，就能容纳更多晶体管，做出体积更小更复杂的电路。

把纳米技术定位为微加工技术的极限。也就是通过纳米精度的“加工”来人工形成纳米大小的结构的技术。这种纳米级的加工技术，也使半导体微型化即将达到极限。现有技术即便发展下去，从理论上讲终将会达到限度。这是因为，如果把电路的线幅变小，将使构成电路的绝缘膜的为得极薄，这样将破坏绝缘效果。

10j/cm2读法是10焦耳每立方厘米

焦耳每立方厘米叫做单位面积所需要的光能能量值，这种单位一般用于半导体和微系统制造业。

制造半导体元件工艺中有一步叫做光刻，比如深紫外光刻，其中给光刻胶曝光所需要的剂量的单位就是焦耳每立方厘米，叫做单位面积所需要的光能能量值。照射时间长，这个数值就大。一般可能还会在能源领域中出现，不会在其他领域中涉及到，所以跟加速，质量之类的没有关系，不过可以换算，换算J然后得到的结果就是答案，不过没有物理意义。

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