现在做机械手臂的比较多。
1)什么是机械手臂
机械手臂是机械人技术领域中得到最广泛实际应用的自动化机械装置,在工业制造、医学治疗、娱乐服务、军事、半导体制造以及太空探索等领域都能见到它的身影。
尽管它们的形态各有不同,但它们都有一个共同的特点,就是能够接受指令,精确地定位到三维(或二维)空间上的某一点进行作业。其结构形式简单说有这几类:悬臂式,龙门式,直立式以及横立式等。
2)机械手臂的构成
机械手臂主要由执行机构、驱动机构和控制系统三大部分组成。
手部是用来抓持工件(或工具)的部件,根据被抓持物件的形状、尺寸、重量、材料和作业要求而有多种结构形式,如夹持型、托持型和吸附型等。运动机构,使手部完成各种转动(摆动)、移动或复合运动来实现规定的动作,改变被抓持物件的位置和姿势。
运动机构的升降、伸缩、旋转等独立运动方式,称为机械手的自由度。为了抓取空间中任意位置和方位的物体,需有6个自由度。
自由度是机械手臂设计的关键参数。自由度越多,机械手臂的灵活性越大,通用性越广,其结构也越复杂。一般专用机械手有2~3个自由度。
机械手臂所用的驱动机构主要有4种:液压驱动、气压驱动、电气驱动和机械驱动。其中以液压驱动、气压驱动用得最多。
控制系统是通过对机械手每个自由度的电机的控制,来完成特定动作。同时接收传感器反馈的信息,形成稳定的闭环控制。
控制系统的核心通常是由单片机或dsp等微控制芯片构成,通过对其编程实现所要功能。
陶瓷搬运臂,又称末端执行器、陶瓷机械手等,它构成机械臂的顶部,用于在位置之间处理和移动半导体晶片。
我们生活在科技日益发达的年代,半导体行业在三百六十行中占据的位置越来越广阔,产业链也已经十分完善了。今天来自钧杰陶瓷的小编要讲的就是半导体行业中要用到的陶瓷搬运臂,众所周知,晶圆硅晶片是十分微小的物件,并且转移过程中必须十分小心。为了快捷安全的搬运,人们设计出了陶瓷搬运臂,在半导体工艺的整个生产过程中起到 *** 纵和搬运硅晶片的作用。它不只是可以在真空通道中承载零件,还可以处理大尺寸的晶片。
陶瓷搬运臂,又称末端执行器、陶瓷机械手等,它构成机械臂的顶部,用于在位置之间处理和移动半导体晶片。它相当于机器人的手,因此重要的是,它的热稳定性和尺寸需要非常稳定,不会污染微粒以及化学污染物室。
经过多年经验的积累,科研人员找到了制造半导体陶瓷臂较为合适的材料,那便是精细陶瓷材料。用精细陶瓷材料制作的半导体陶瓷臂相比于其他的材料有非常大的优势,因为精细陶瓷材料耐高温、耐磨性能比其他材料高上许多倍,其硬度更加是其他材料所不能比的,用精细陶瓷材料可以增强功能、减少对晶片/玻璃面板的损坏并阻止污染扩散。
在精细陶瓷材料制作的陶瓷搬运臂中,氧化铝材料制作的陶瓷搬运臂性价比是其他精细陶瓷材料所不能比的。高纯度的氧化铝陶瓷,气密性高,耐磨性强,防静电,我们钧杰陶瓷加工的氧化铝陶瓷搬运臂平面度甚至可以达到0.01。
半导体晶圆搬运臂常用于2200 ℃的高温环境,从20 ℃ -1000 ℃到2800 ℃冰点的热膨胀系数可达13* 10∧6,这点是许多材料达不到的要求 。但是精细陶瓷材料可以,由氧化铝材料制作的陶瓷搬运臂具有优良的耐高温能力。
并且,半导体晶圆搬运臂还需要高硬度和高耐磨性,精细陶瓷制作的搬运臂的硬度不仅仅是只次于金刚石,而且其耐磨性也远远超过钢和铬钢的耐磨性。陶瓷搬运臂比其他材料具有更好的耐磨性和硬度,氧化铝陶瓷的耐磨性和硬度完全可以满足陶瓷搬运臂的要求,而且比起其他精细陶瓷材料的价格,它更加实惠。
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