2020-02-24小刘科研笔记之几种常见的研磨抛光液的优劣势分析

研磨抛光是半导体加工过程中的一项重要工艺， 主要应用于半导体表面进行加工， 研磨液、抛光液是影响半导体表面质量的重要因素。

研磨是半导体加工过程中的一项重要工艺， 它主要是应用化学研磨液混配磨料的方式对半导体表面进行精密加工， 这种化学研磨工艺几乎涉及到半导体制程中的各个环节， 研磨液是影响半导体表面质量的重要因素。

对于研磨工件产品，品种多；可选择不同程度效果的氧化铝研磨液，研磨速度快可减省研磨时间，提高生产效率，作业后工件表面比较平滑。

加油或者加水稀释使用，有效，方便，无污染，不腐蚀等特点。其中金刚石颗粒硬度好，粒度均匀，磨削效果好。

用于在蓝宝石衬底的研磨和减薄的研磨液，蓝宝石研磨液利用聚晶金刚石的特性，在研磨抛光过程中保持高切削的效率，同时不易对工件产生划伤。

（1）切力较稳定，性价比高；

（2）铝为电和热的良导体，而氧化铝则是电与热的绝缘体；

（3）具有良好的研磨稳定效果；

（4）品种多，可以进行粗磨和细磨，视半导体材质而定；

（5）适用作为Inp、GaAs半导体的研磨液。

  分散稳定性不好、易团聚、易沉淀。

（1）金刚石磨料是研磨硬质合金、陶瓷、宝石、光学玻璃等高硬度材料的理想原料；

（2）蓝宝石研磨液是蓝宝石衬底的研磨和减薄、光学晶体、硬质玻璃和晶体、超硬陶瓷和合金、刺头、硬盘、芯片领域的研磨；

（3）不适用于Inp、GaAs。

CMP抛光液( chemical mechanical polishing化学机械抛光，简称CMP)是平坦化精密加工工艺中超细固体研磨材料和化学添加剂的混合物，CMP抛光液一般由提供研磨作用的超细固体粒子如纳米级SiO2、Al2O3粒子等和提供腐蚀溶解作用的表面活性剂、稳定剂、氧化剂等组成。

广泛用于各类集成电路、半导体、蓝宝石、LED行业及其他领域的抛光过程，用来辅助抛光、保护硅片等材料免受划伤，因此在芯片的制备过程中是离不开它的。

①.氧化铝抛光液：晶向稳定、硬度高、颗粒小且分布均匀；磨削力强、抛光速率快、镜面效果好；抛光液不易沉淀。

②. 氧化硅抛光液：

（1）分散性好。

（2）粒径分布广泛：5-100nm。

（3）适合与各种抛光垫、合成材料配合抛光使用。

（4）适用硅晶圆、蓝宝石等半导体及衬底材料的粗抛和精抛，抛光后易清洗，表面粗糙度低。

③ 白刚玉抛光液：纯度高、耐酸碱腐蚀、耐高温、热态性能稳定它硬度略高于棕刚玉，韧性稍低，自锐性好、磨削能力强、发热量小、效率高、热稳定性好。

优势在于

（1）氧化铝抛光的抛光速率快、二氧化硅抛光液易清洁。

（2）氧化铝抛光液良好的微粒形状，纯度高、磨削力强，表面粗糙度5-15nm。

（3）二氧化硅抛光液表面粗糙度低，而且抛光后易清洗，适用于二次抛光解决脏污。

（4）如图下氧化铝抛光液结合二氧化硅抛光液的效果图。

劣势在于： 氧化铝抛光液异常多，比如橘皮现象、表面出现白点现象；二氧化硅抛光液抛光过程中易产生结晶，对硬底材料抛光速率低。

白刚玉微粉可用做触媒体，绝缘体以及精密铸造砂等。

不积珪步，无以至千里；不积细流，无以成江海。做好每一份工作，都需要坚持不懈的学习。

财联社（上海，编辑 黄君芝）讯， 据报道，英特尔公司（Intel Corp.）正向监管部门强烈反对一项针对芯片制造一种关键原料的进口禁令，并称此举将加剧原本已“岌岌可危”的芯片短缺。

据悉，英特尔正试图劝阻美国国际贸易委员会（ITC）对Optiplane研磨液的禁令。杜邦目前在日本和中国台湾地区生产该研磨液，不过杜邦这项产品被指控侵犯了美国CMC Materials Inc.的技术专利，ITC可能在12月16日宣布禁止Optiplane进口美国。

全球最大的芯片制造商英特尔表示，“在没有24个月过渡期的情况下，禁止美国半导体芯片生产线使用Optiplane研磨液，可能会与国家安全和经济利益相冲突。”

CMC旗下的卡博特微电子（Cabot Microelectronics）称Optiplane使用Cabot的“尖端”技术，在抛光半导体层的浆料中提取二氧化硅颗粒，Cabot将这种成分用于其iDiel系列研磨液。

这些研磨液用于半导体制造过程的不同步骤，“它们之间的细微差异对制造环境产生了巨大的影响，”英特尔说。

全球半导体短缺已经影响到经济的方方面面。仅 汽车 行业就将损失超过2,000亿美元的销售额，由于缺芯他们无法生产出足够多的 汽车 来满足需求。

美国国际贸易委员会的禁令对英特尔的冲击可能超过一些竞争对手，因为英特尔更严重地依赖其美国工厂。据悉，在这起案件中代表公众利益充当第三方的ITC律师，支持英特尔将进口禁令推迟24个月的呼吁。

研磨机的使用方法 研磨机的清洁保养

研磨机的使用方法 研磨机的清洁保养。研磨机是用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面。下面我来介绍研磨机的使用方法以及研磨机的清洁保养。

研磨机的使用方法 研磨机的清洁保养1

研磨机的使用方法

研磨机在火力发电厂制粉系统中被广泛的应用，但其传动轴振动及小牙轮断齿一直困扰着系统的安全生产，前一时期我厂制粉系统也倍受这两个缺陷的困扰，甚至影响到了机组燃料的供应，经检修人员多次调整，效果显著，传动轴振动低于0.08mm。

*** 作者必须熟悉设备一般结构及性能，不得超性能使用设备。零件与磨具体积之和不得超过料斗体积的90%。接通电源后，进行空运转，应运转平稳，无异常噪声。否则应停机检查。工件研磨前，必须将工件进行脱油去污处理。加工过程中必须根据工件研磨情况适时添加研磨剂和控制水的添加量。工作完毕停机时，切断电源，清扫设备，做好设备维护保养工作。安全 *** 作规程开机前，应检查紧固螺钉，检查电机轴等转动是否灵活。设备在运转中，发现异常应即停车。每隔6个月，应向振动电机或旋转轴的轴承注油口加注锂基脂。下班，应切断电源。空负荷试运转。主机和分析机转向正确。主机空负荷试运转按转向要求，其运转时间不少于1h。

如较长时间不使用研磨机器和研磨夹具，应将研磨夹具浸在氯乙烷里用超声波清洗，然后涂上保护油保存在专用工具箱里。应定期检查各传动部位润滑状况并及时添加润滑脂，应采用润滑脂或其他润滑脂每月对系统进行润滑、防锈和防腐处理。

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研磨机的清洁保养

使用中不要远离机器，防止发生故障，对机器造成损坏。不要使研磨机遭受不适当的振动及不必要的撞击。不要用湿手触摸 *** 作按钮或开关。应保证研磨机电源使用正确的电压及频率。应保证研磨机有充分的'接地。使用中不要触摸旋转的部件。拆装研磨底盘或其他部件时，应由专业人员，不要私自拆装研磨机部件。研磨人员研磨时注意研磨液或研磨水不要渗到研磨机内，防止对研磨机造成损坏。研磨前自检，应仔细检查研磨机，确保研磨机自转和公转运转正常才能进行研磨。应仔细检查研磨砂纸不要粘贴错误以防造成不必要的耗材浪费。应仔细检查砂纸的粘贴顺序和磨损及更换。

研磨机的维护和保养

为了使研磨机保持正常的工作状态，在每次使用完机器后，应进行以下的保养程序。每次研磨完成后，或者要停止研磨一段时间，都应将机器上所有的研磨片用水彻底清洗干净。否则，残留的研磨液和研磨水将会变干、变硬或渗到研磨机内对机器造成损坏。

研磨机的使用方法 研磨机的清洁保养2

研磨机的结构简单，仍需正确使用，做好日常维护保养，为了使研磨机保持正常的工作状态,使用中应注意如下几点：

1. 研磨机连续工作时间过长时，抛光辊摩擦生热温度高，易烫伤革面，需降温后再 *** 作。

2. 工作前后，应清洁抛光辊表面，并打蜡保持辊面光滑无尘。

3. 使用中，控制供料辊压力适当，以免阻力太大，电器发热易烧坏。做好传动链各转动部位的润滑，保持传动准确可靠。

关于研磨机的维修有以下几点：

1、 电器电路出现破损，老化时要请专业电工进行维修。严禁带电作业。

2、 机器部件出现问题时，要买规格相同的配件更换，严禁带毛病开机。

3、 机器出现其它严重问题时，要与厂家联系。

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