1、半导体水洗后使用电吹风开热风对半导体加热。
2、加热10分钟后将半导体用胶带包裹,等待5分钟。
3、5分钟后拆下,打线拉力就会增强。
半导体封装工艺中,晶粒打线这道工序常常有线弯不良,分析和解决方法如下:1. 线材质量不良,铝和铜线较多不良,金线质量比较好。解决方法加强线材收货质管,并每天抽检六次,遇到不良即时反馈供应商。
2. 打线机调整有偏差,方法是加强现场人员技术能力。
3. *** 作员有失误,一般来说 *** 作员影响不大,解决方法是加强技术员和 *** 作员水平。
4. 每个型号产品的打线规范不同,解决方法应有统一流程再补充细节。
5. 厂房设施如水电,气体供应稳定度,都会影响打线稳定度导致线弯,应有设施专人维持稳定度。
前道主要是光刻、刻蚀机、清洗机、离子注入、化学机械平坦等。后道主要有打线、Bonder、FCB、BGA植球、检查、测试等。又分为湿制程和干制程。
湿制程主要是由液体参与的流程,如清洗、电镀等。干制程则与之相反,是没有液体的流程。其实半导体制程大部分是干制程。由于对Low-K材料的要求不断提高,仅仅进行单工程开发评估是不够的。为了达到总体最优化,还需要进行综合评估,以解决多步骤的问题。
扩展资料:
这部分工艺流程是为了在 Si 衬底上实现N型和P型场效应晶体管,与之相对应的是后道(back end of line,BEOL)工艺,后道实际上就是建立若干层的导电金属线,不同层金属线之间由柱状金属相连。
新的集成技术在晶圆衬底上也添加了很多新型功能材料,例如:后道(BEOL)的低介电常数(εr <2.4)绝缘材料,它是多孔的能有效降低后道金属线之间的电容。
参考资料来源:百度百科-后道工序
参考资料来源:百度百科-半导体
参考资料来源:百度百科-前道工艺
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