真空系统的简介

真空系统的简介,第1张

真空系统。是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前,该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。

该真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道,即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。

semi真空系统设备是产生、改善或维持真空的设备。根据查询相关资料信息显示,semi真空系统设备是一款产生、改善或维持真空的装置。装置包括各种获得粗、低、中、高及超高的真空泵和真空机组。其中包含机械真空泵:旋片泵、往复泵、滑阀泵、罗茨泵、分子泵和液环泵等。

真空系统设计都需要经过3个阶段:首先,需要根据工艺特点、真空室对真空度的要求等,选择适当的真空系统设计方案,进行真空泵选型计算。其次,确定真空系统管路、阀门、真空测量元件及其他相应的配套配置。最后,pronotek出真空系统装配图和零部件图。


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