半导体中晶圆切割去离子水的作用是什么

半导体中晶圆切割去离子水的作用是什么,第1张

1 因为切割过程中会产生热量,使用去离子水进行冷却;2 切割中会产生一些粉尘和碎屑,切得过程中要一直使用水来冲洗刀片。使用去离子水是防止水中的可移动离子,比如Na\Cl之类对Wafer造成污染,影响后续的工艺

你是说封装的时候是如何将晶圆切割开的吧?封装前芯片会减薄到一般200um左右,然后会把圆片贴在一张蓝膜上,再进行划片;再经过装片工序,装片时用顶针将芯片与蓝膜分离并将芯片固定到封装框架上。

半导体工艺技术有很多,每种工艺都有其特定的优势和劣势,没有一种工艺能够满足所有的应用需求,因此,选择哪种工艺是根据应用的具体要求而定的。

常见的半导体工艺有:晶圆切割、晶圆研磨、光刻、掩膜、熔融清洗、热处理、化学镀、接极等。

其中,晶圆切割、光刻、掩膜、熔融清洗、热处理、化学镀、接极等是半导体八大工艺,这八种工艺是半导体制造过程中最重要的工艺,也是最常用的工艺。

每种工艺都有其优势和劣势,没有一种工艺能够满足所有的应用需求,因此,选择哪种工艺是根据应用的具体要求而定的,没有哪一种工艺是最好的。


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