半导体中铝湿法腐蚀铝残留的原因是什么

半导体中铝湿法腐蚀铝残留的原因是什么,第1张

半导体中铝湿法腐蚀铝残留的原因有:

1、掩膜材料(主要指光刻胶)显影不清和曝光强度不够,会使显影时留有残胶,通常会使腐蚀不净。

2、须腐蚀膜的类型(指如SIO2,POLY,SILICON等)。

3、腐蚀速率。腐蚀速率的变化会使腐蚀效果发生改变,经常会导致腐蚀不净或严重过腐蚀,从而造成异常,影响腐蚀速率的因素可见下面的影响因素。

4、浸润与否。由于在湿法腐蚀时由于腐蚀液与膜间存在表面张力,从而使腐蚀液难于到达或进入被腐蚀表面和孔,难于实现腐蚀的目的。

在金属元素和非金属元素分界线的那一道线上,都是半导体,具体的为:硼、硅、锗、砷、锑、碲、钋

什么是半导体?顾名思义:导电性能介于导体与绝缘体(insulator)之间的材料,叫做半导体.

物质存在的形式多种多样,固体、液体、气体、等离子体等等。我们通常把导电性和导电导热性差或不好的材料,如金刚石、人工晶体、琥珀、陶瓷等等,称为绝缘体。而把导电、导热都比较好的金属如金、银、铜、铁、锡、铝等称为导体。可以简单的把介于导体和绝缘体之间的材料称为半导体。

铝虽然有 一些非金属的性质,但是在导电性上,还是作为良导体经常使用。所以铝不算是半导体。

希望对你有帮助。


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