晶圆map图什么意思

JMP软件中的晶圆图( Wafer Map)分析

2016-03-24 原文

关键词：芯片 良率分析 晶圆图 质量管理 JMP Minitab

半导体芯片的生产，简单来讲，是将电路通过各种复杂的物理化学方法制作到晶圆上，在生产的最后阶段会进行不同电性功能的测试以确保产品的功能性，而利用这些测试结果再结合晶圆的形状所产生的图形就是晶圆图(Wafer Map)。晶圆图是以芯片(Die)为单位的，将测试完成的结果用不同颜色、形状或代码标示在各个芯片的位置上。

半导体业内人士都知道：晶圆图是提供追溯产品发生异常原因的重要线索，通过晶圆图的空间分布情况及其模型分析，可以找出可能发生低良率的原因（例如有问题的机台或异常的制程步骤等）。所以，哪怕当前的良率较高，每个工厂也会记录每片晶圆经过测试后产生的晶圆图，以作为工作报告的必备内容或者事故诊断的重要依据。

虽然现在的不少半导体加工设备本身就提供了一些制作晶圆图的功能，但基本上都是些简单且固定的模式，工程师们稍微有些新想法、新要求就无法实现了。我们老板想省钱，前两年想请IT部门配合用Excel中的VBA开发一个具有定制化功能的晶圆图分析软件，但实施起来遇到很多困难，最后这个项目也就不了了之了。上个月参加了JMP中国区的技术专家到我们公司做的“数据可视化”培训，意外地发现用JMP可以轻松制作出适合我们实际需要的晶圆图。

据我所知，JMP在半导体领域相当普及，无论是搞研发、设计、生产、工艺、质量还是六西格玛的，都会用得到它(这个领域好像Minitab用得不多-题外话)。用JMP软件绘制晶圆图的方法有好几种，最方便的是用“图形生成器（Graph Builder）”，将数据拖入JMP图形生成器的制图区域即可得到，其中用颜色来表示不同的测试结果。

代表合格、用1~7分别代表七种不同缺陷的晶圆图。够直观的吧？只要有规律地修改JMP数据表中各行的“行标记”就行了。

实际工作中有时候需要制作上面两种Bin Wafer Map之外，有时候还需要制作Parametric Wafer Map。它与前者的主要区别是需要在图形上增加等高线图Contour Plot，这在JMP软件中也很方便。下面的这张Parametric Wafer Map也是用JMP的“图形生成器（Graph Builder）”完成的，从中可以直观地发现连续型测量值的变化规律，帮助工程师判断制程变异趋势。

度任意旋转，挺好玩的。

其实，最让我感兴趣的还有用JMP软件自带的编程语言JSL（JMP Scripting Language）把JMP的图形生成器、地图、数据过滤器、图形与数据源的链接、方差分析、相关性与回归等功能整合在一起，开发出一套既满足工程师个性化查询要求、又符合公司标准化自动分析标准的良率分析（Yield Analysis）系统。

这对于我来说，还需要一段时间。目前我还只能达到基于Wafer Map为分析的初级阶段。具体地说，我编写的脚本运行之后，还只能自动生成类似如下的界面，用来观察不同Lot之间、不同Wafer之间的质量波动情况。路漫漫其修远兮，我还要求索求索。

不过，因为这样类似于模版的东西可以进行自动分析和更新，已经节省了我们很多时间，可以有更多的时间搞一些其他更重要的事情(当然，数据分析也很重要)。老板还让我过段时间搞个内部培训(压力大啊)，确保部门里的同事都会看、会用。这让我信心大增的同时也总感觉一个人自学进步太慢。各位如果在半导体工艺优化、质量管理以及JMP软件的使用等方面有什么心得和经验，还希望能够交流交流，共同提高。

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问题六：研究生技术路线图怎么画 目前技术路线图的绘制方法一共有三种，即基于专家的方法（ExpertBasedApproach）、基于工作组的方法（workshop－based Approach）和基于计算机的方法（puter－based Approach），当然还有一种方法就是将三种方法结合起来。

基于专家的方法就是将一组或几组专家召集到一起确定技术路线图中的节点以及节点之间的属性。例如，美国半导体协会的技术路线图绘制就先后有600多名科学家参与其中。该方法实际上就是一种结构化的“头脑风暴法”，它依据专家头脑中的知识和经验，主观的判断出技术路线图中各种节点或连接的定量与定性属性。

基于工作组的方法指由来自不同部门的人员组成团队,分成几个Workshop,利用参与者的知识和经验确定技术路线图节点和连接的属性。如行业路线图就由行业, *** ,学术界研究人员及其他利益相关者参加共同绘制。

基于计算机的方法，就是通过对科学、技术、工程和最终产品的大型文本数据库进行计算机分析，这些数据库可能包括学术论文、研究报告、信件等等。利用各种常用的方法，如引文分析确定技术、工程以及产品的研究领域，同时估计并量化他们之间的相关性，而且他们与其他领域之间的关系也可以确定并量化出来。

与上述两种方法相比，基于计算机的方法更加客观。

问题七：如何写软件设计的技术路线？ 技术路线：

福 本课题将应用软件工程原则，严格按照项目计划、需求分析、概念设计、逻辑设计、物理设计、编码、实现与维护等步骤进行。

问题八：技术路线图的作用 技术路线图的作用和其他所有管理工具一样,技术路线图的出现也是发展的需要。摩托罗拉是以技术为基础的公司,随着时间的推移,产品和工艺越来越复杂,他们意识到存在有忽略一些重要技术元素的危险。所以,他们发动全公司范围的一种过程―――技术路线图。目的是鼓励各业务经理对未来技术的前景给予适当的关注同时给他们一种组织预测的工艺的工具,另外还提供一种沟通的方法:和设计及开发工程师的沟通,和市场人员的沟通。而这些都是技术开发和应用中所需要的。为了满足这些需要―――识别重要技术,传达重要技术,技术路线图便应运而生。基于良好信息支撑来预测未来市场的技术及产品需求；识别对某个产业具有高潜力的科学和技术领域；识别事业所需的、可实现的关键技术 ，识别当前和目标之间的技术差别；用以支持战略技术的投资决策；避免风险和非生产性的技术服务；通过知识共享来强化参与公司的合作伙伴关系；有助于就进一步的技术研发项目和计划达成必要一致；有助于在一个框架内调整公司间的研发和研发投入水平；确定从技术开发到市场应用的相关步骤.技术路线图可以分为三个层次,公司层面,行业层面和国家层面(有时是相互合作的)。宏观层面: 大趋势, 由 *** 机构制定,如DOD部门层面: 由行业协会制定, 或者多客户的咨询公司Sematech, NCAT, AIAA, IEEE公司层面: 主要涉及特定的技术和新产品,常常由公司来制定技术路线图与已往规划和分析工具方法理念上的不同第一，它以“市场拉动”为动因，技术创新须满足企业进入未来市场的需求；路线图不是以“技术推动”为动因的，不是关于现存技术有何作为。第二，技术路线图是基于公司或产业的愿景视野，以及到达目的地需求什么样的技术.第三，技术路线图提供了一个到达愿景目标的路径，从今天指向明天, 可以帮助公司或研发机构识别、选择和开发正确的技术，使之在未来的市场中有恰当的产品。经济方面作用经济的全球化意味着没有一个单个公司或行业拥有技术所需的全部资源。通过技术路线图,公司和研究所, *** 关系人合作,形成新的伙伴关系,发展创造性的解决技术和已识别的研究需求的方法。技术路线图能推动合作,加强知识共享和减少技术投资风险。实践证明,技术路线图的应用带来了巨大好处。美国国家技术和标准协会主任Ray Kam2mer认为路线图帮助引导投资和配置资源,使之和美国行业优先顺序相一致。另外,技术路线图是帮助美国增加国际市场份额非常有价值的工具[ 2 ] 。而G. Dan Hutcheson则曾计算过SIA (半导体行业协会)技术路线图的影响,每一个周期的净收益芯片行业是160亿美元,装配行业是50亿美元,而成本低于5千万美元。投资回报率是640%[ 8 ] 。

问题九：技术路线图的定义 技术路线图的定义：是什么？技术路线图在世界范围内已经得到广泛应用，但并没有统一、规范的定义。下面列举几种相对权威机构的定义。美国定义技术路线图是特定领域愿景的未来延伸。该愿景 *** 了社会集体智慧和领域领袖的看法，是特定领域发展方向的地图。英国定义技术路线图是特定领域利益相关人对发展方向、发展程序、发展能力和发展目标的认识。加拿大工业部：技术路线图是一个过程工具,帮助识别行业/部门/公司未来成功所需的关键的技术,以及获得执行和发展的这些技术所需的项目或步骤。台湾定义技术路线图是融合了理想、知识、企业与 *** 资源、投资与管控流程等的愿景图。Technology roadmapping is a planning process that gives decision-makers a means to identify, evaluate and select among strategic alternatives for achieving technological objectives.Robert Galvin（Moto前CEO）:技术路线图是对某一特定区域的未来延伸的看法。该看法集中了集体的智慧和最显著的技术变化的驾驭者的看法。一般是采用绘图的形式表达出来的,可成为这一领域可能发展方向的一个详细目录。技术路线图是指应用简洁的图形、表格、文字等形式描述技术变化的步骤或技术相关环节之间的逻辑关系。它能够帮助使用者明确该领域的发展方向和实现目标所需的关键技术，理清产品和技术之间的关系。它包括最终的结果和制定的过程。技术路线图具有高度概括、高度综合和前瞻性的基本特征。技术路线图的横坐标是时间，纵坐标是资源、研发项目、技术、产品和市场。适用于企业产品研发、产业发展规划和区域或国家战略规划。技术路线图是一种结构化的规划方法，我们可以从三个方面归纳：它作为一个过程，可以综合各种利益相关者的观点，并将其统一到预期目标上来。同时，作为一种产品，纵向上它有力地将目标、资源及市场有机结合起来，并明确它们之间的关系和属性，又预测未来；作为一种方法，它可以广泛应用于技术规划管理、行业未来预测、国家宏观管理等方面。 技术路线图最早出现在美国汽车行业，汽车企业为降低成本要求供应商提供他们产品的技术路线图。20世纪70年代后期和80年代早期，摩托罗拉和康宁公司先后采用了绘制技术路线图的管理方法对产品开发任务进行规划。摩托罗拉主要用于技术进化和技术定位，康宁公司主要用于公司的和商业单位战略。继摩托罗拉和康宁公司之后，许多国际大公司，如微软、三星、朗讯公司，洛克-马丁公司和飞利普公司等都广泛应用这项管理技术。2000年英国对制造业企业的一项调查显示，大约有10%的公司承认使用了技术路线图方法，而且其中80%以上用了不止一次(C.J.Farrukh, R.Phaal, 2001)。不仅如此，许多国家 *** 、产业团体和科研单位也开始利用这种方法来对其所属部门的技术进行规划和管理。技术路线图真正的奠基人是摩托罗拉公司当时的CEO―Robert Galvin。当时，Robert Galvin在全公司范围内发动了一场绘制技术路线图的行动，主要目的是鼓励业务经理适当地关注技术未来并为他们提供一个预测未来过程的工具。这个工具为设计和研发工程师与做市场调研和营销的同事之间提供了交流的渠道，建立了各部门之间识别重要技术、传达重要技术的机制，使得技术为未来的产品开发和应用服务。摩托罗拉的经验引起了全球企业高层管理者的注意。20世纪90年代后，企业对于技术路线图的兴趣空前高涨，技术路线......>>

问题十：如何画技术路线图 单击菜单栏里的“幻灯片放映”――“自定义动画”，选中要设置的文本或图片，点击右边的“添加效果”――“动作路径”，后面的就可以自己设置了。

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