后段刻蚀工艺是背面减薄吗

后段刻蚀工艺是背面减薄吗,第1张

您好,后段刻蚀工艺是一种用于减薄半导体器件的工艺,它可以在背面减薄器件的厚度。这种工艺可以利用化学刻蚀法,用溶液将器件表面的材料腐蚀掉,从而减薄器件的厚度。后段刻蚀工艺的优点是可以精确控制减薄的厚度,而且可以在器件的背面减薄,这样可以避免影响器件正面的结构和性能。另外,这种工艺可以有效地提高器件的性能,提高器件的可靠性,减少器件的制造成本。

这里的元件 通常指晶体管

现在最主流的45nm工艺 每119平方毫米(现在3D工艺未成熟,平面工艺一般不谈立方毫米,换算的话乘以芯片厚度) 有10亿个晶体管。

但其中大部分是布线面积与 通道面积,哑元

一个晶体管 大概10的负11次方平方毫米(不算布线,IO等开销)

霍尔元件一般都做得较薄是因为,霍尔元件越薄,灵敏度系数越大。

霍尔元件可用多种半导体材料制作,如Ge、Si、InSb、GaAs、InAs、InAsP以及多层半导体异质结构量子阱材料等等。

半导体中电子迁移率(电子定向运动的平均速度)比空穴迁移率高,因此N型半导体较适合于制造灵敏度高的霍尔元件霍尔元件。

常用的半导体材料N型硅、N型锗、锑化铟、砷化铟和不同比例亚砷酸铟和磷酸铟组成的In型固溶体等。

扩展资料:

霍尔元件置于电场强度为E、磁场强度为H的电磁场中,则在该元件中将产生电流I,元件上同时产生的霍尔电位差和电场强度E成正比。

如果再测出该电磁场的磁场强度,则电磁场的功率密度瞬时值P可由P=EH确定。利用这种方法可以构成霍尔功率传感器。

如果把霍尔元件集成的开关按预定位置有规律地布置在物体上,当装在运动物体上的永磁体经过它时,可以从测量电路上测得脉冲信号。

参考资料来源:百度百科-霍尔元件


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